Complex formation and growth at the Cr and Cu-polyimide interface

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 6, Issue 4, 1988, Pages 2188-2199

  Haight, R ^a   White, R C ^a   Silverman, B D ^a   Ho, P S ^a  

^a IBM T J WATSON RESEARCH CENTER   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84953683183     PISSN: 07342101     EISSN: 15208559     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.575010     Document Type: Article

References (21)

1. N. J. Chou and C. H. Tang, J. Vac. Sci. Technol. A 2, 751 (1984).
2. P. S. Ho, P. O. Hahn, J. W. Bartha, G. W. Rubloff, F. K. Le Goues, and B. D. Silverman, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 739 (1985).
3. R. C. White, R. Haight, B. D. Silverman, and P. S. Ho, Appl. Phys. Lett. 51, 481 (1987).
4. J. W. Bartha, P. O. Hahn, F. Legoues, and P. S. Ho, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 1390 (1985).
5. N. J. Chou, D. W. Dong, J. Kim, and A. C. Liu, J. Electrochem. Soc. 131, 2335 (1984).
6. P. N. Sanda, J. W. Bartha, J. G. Clabes, J. L. Jordan, C. Feger, B. D. Silverman, and P. S. Ho, J. Vac. Sci. Technol. A 4, 1035 (1986).
7. J. L. Jordan, P. N. Sanda, J. F. Morar, C. A. Kovac, F. J. Himpsel, and R. A. Pollack, J. Vac. Sci. Technol. A 4, 1046 (1986).
8. B. D. Silverman, P. N. Sanda, P. S. Ho, and A. R. Rossi, J. Po1ym. Sci. 23, (1985).
9. T. P. Russell, J. Polym. Sci. 22, 1105 (1984).
10. N. Takahashi, D. Y. Yoon, and W. Parrish, Macromolecules 17, 2583 (1984).
11. P. L. Timms, Proc. R. Soc. London Ser. A 396, I (1984).
12. J. L. Bredas and T. C. Clark, J. Chern. Phys. 86, 253 (1987).
13. A. R. Rossi and B. D. Silverman, Proc. Am. Chern. Soc. (submitted).
14. A. R. Rossi, P. N. Sanda, B. D. Silverman, and P. S. Ho, Organometallics 6, 580 (1987).
15. I5B. D. Silverman, J. W. Bartha, J. G. Clabes, P. S. Ho, and A. R. Rossi, J. Polym. Sci. 24, 3325 (1986).
16. H. Ishida, S. T. Wellinghoff, E. Bauer, and J. L. Koenig, Macromolecules 13, 826 (1980).
17. R. N. Lamb, J. Baxter, M. Grunze, C. W. Kong, and W. N. Unertl, Langmuir 4, 249 (1988).
18. J. L. Jordan, C. A. Kovac, J. F. Morar, and R. A. Pollak, Phys. Rev. B 36, (1987).
19. M. P. Andrews, H. X. Huber, S. M. Matta, D. F. Mcintosh, and G. A. Ozin, J. Am. Chern. Soc. 105, 6170 (1983).
20. N. J. Di Nardo, J. E. Demuth, and T. C. Clark, J. Chern. Phys. 85, 6739 (1986).
21. R. M. Tromp, F. Le Goues, and P. S. Ho, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 782 (1985).