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Volumn , Issue , 1989, Pages 950-953

A novel approach for an electrical vernier to measure mask misalignment

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ALIGNMENT; EQUIPMENT TESTING; SHIFT REGISTERS; SOLID STATE DEVICES;

EID: 84907813426     PISSN: 19308876     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1007/978-3-642-52314-4_198     Document Type: Conference Paper
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.