Ultrathin sticker-type ZnO thin film transistors formed by transfer printing via topological confinement of water-soluble sacrificial polymer in dimple structure

Advanced Functional Materials

Volumn 23, Issue 11, 2013, Pages 1375-1382

  Kim, Suk Ho ^a   Yoon, Jongwon ^a   Yun, Su Ok ^a   Hwang, Youngkyu ^a   Jang, Hun Soo ^a   Ko, Heung Cho ^a  

^a Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)   (South Korea)

Author keywords

microcontact printing; sacrificial layer; sticker type electronics; topological confinement; ZnO thin film transistors

Indexed keywords

ADHESION; ETCHING; FILM THICKNESS; II-VI SEMICONDUCTORS; METALLIC FILMS; OPTICAL FILMS; POLYMERS; THERMOELECTRIC EQUIPMENT; THIN FILM CIRCUITS; THIN FILM TRANSISTORS; THIN FILMS; TOPOLOGY; ZINC OXIDE;

ELECTRONIC DEVICE; INTERFACIAL ADHESIONS; MICRO CONTACT PRINTING; POLYMER RESIDUE; SACRIFICIAL LAYER; TRANSFER PRINTING; VARIOUS SUBSTRATES; ZNO THIN FILM;

SUBSTRATES;

EID: 84874990390     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.201202409     Document Type: Article

References (58)

1. W. H. Lee, J. Park, S. H. Sim, S. B. Jo, K. S. Kim, B. H. Hong, K. Cho, Adv. Mater. 2011, 23, 1752.
2. A. L. Briseno, R. J. Tseng, M.-M. Ling, E. H. L. Falcao, Y. Yang, F. Wudl, Z. Bao, Adv. Mater. 2006, 18, 2320.
3. H. Yan, Z. Chen, Y. Zheng, C. Newman, J. R. Quin, F. Dötz, M. Kastler, A. Facchetti, Nature 2009, 457, 679.
4. a) M. A. Meitl, Y. Zhou, A. Gaur, S. Jeon, M. L. Usrey, M. S. Strano, J. A. Rogers, Nano Lett. 2004, 4, 1643
5. b) C. Kocabas, S.-H. Hur, A. Gaur, M. A. Meitl, M. Shim, J. A. Rogers, Small 2005, 1, 1110
6. c) C. Wang, J.-C. Chien, K. Takei, T. Takahashi, J. Nah, A. M. Niknejad, A. Javey, Nano Lett. 2012, 12, 1527.
7. a) K. S. Kim, Y. Zhao, H. Jang, S. Y. Lee, J. M. Kim, K. S. Kim, J.-H. Ahn, P. Kim, J.-Y. Choi, B. H. Hong, Nature 2009, 457, 706
8. b) X. Li, W. Cai, J. An, S. Kim, J. Nah, D. Yang, R. Piner, A. Velamakanni, I. Jung, E. Tutuc, S. K. Banerjee, L. Colombo, R. S. Ruoff, Science 2009, 324, 5932
9. c) J.-U. Park, S. W. Nam, M.-S. Lee, C. M. Lieber, Nat. Mater. 2012, 11, 120.
10. E. Menard, K. J. Lee, D.-Y. Khang, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 2004, 84, 5398.
11. H. C. Ko, A. J. Baca, J. A. Rogers, Nano Lett. 2006, 6, 2318.
12. D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Song, Y. Y. Huang, Z. Liu, C. Lu, J. A. Rogers, Science 2008, 320, 507.
13. a) K. Lee, J. Lee, H. Hwang, Z. Reitmeier, R. F. Davis, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Small 2005, 1, 1164
14. b) C.-H. Lee, Y.-J. Kim, Y. J. Hong, S.-R. Jeon, S. Bae, B. H. Hong, G.-C. Yi, Adv. Mater. 2011, 23, 4614
15. c) S. Y. lee, K.-I. Park, C. Huh, M. Koo, H. G. Yoo, S. Kim, C. S. Ah, G. Y. Sung, K. J. Lee, Nano Energy 2012, 1, 145.
16. H. Ko, K. Takei, R. Kapadia, S. Chuang, H. Fang, P. W. Leu, K. Ganapathi, E. Plis, H. S. Kim, S.-Y. Chen, M. Madsen, A. C. Ford, Y.-L. Chueh, S. Krishna, S. Salahuddin, A. Javey, Nature 2010, 468, 286.
17. a) Y. Sun, J. A. Rogers, Nano Lett. 2004, 4, 1953
18. b) Y. Sun, D.-Y. Khang, F. Hua, K. Hurley, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Adv. Funct. Mater. 2005, 15, 30.
19. K. Park, D.-K. Lee, B.-S. Kim, H. Jeon, N. Lee, D. Whang, H.-J. Lee, Y. J. Kim, J.-H. Ahn, Adv. Funct. Mater. 2010, 20, 3577.
20. a) M. K. Kelly, O. Ambacher, R. Dimitrov, R. Handschuh, M. Stutzmann, Phys. Status Solidi A 1997, 159, R3
21. b) T. Shimoda, S. Inoue, IEDM Tech. Dig. 1999, 289
22. c) S. Inoue, S. Utsunomiya, T. Saeki, T. Shimoda, IEEE Trans. Electron Devices 2002, 49, 1353.
23. a) F. N. Ishikawa, H.-K. Chang, K. Ryu, P.-C. Chen, A. Badmaev, L. G. De Arco, G. Shen, C. Zhou, ACS Nano 2009, 3, 73
24. b) L. Song, L. Ci, W. Gao, P. M. Ajayan, ACS Nano 2009, 3, 1353
25. c) S. Bae, H. Kim, Y. Lee, X. Xu, J.-S. Park, Y. Zheng, J. Balakrishnan, T. Lei, H. R. Kim, Y. I. Song, Y.-J. Kim, K. S. Kim, B. Özyilmaz, J.-H. Ahn, B. H. Hong, S. Iijima, Nat. Nanotech. 2010, 5, 574.
26. a) D. Westberg, O. Paul, G. I. Andersson, H. Baltes, J. Micromech. Microeng. 1996, 6, 376
27. b) W. Sparreboom, J. Eijkel, J. Bomer, A. Van Den Berg, Lab Chip 2008, 8, 402.
28. V. Linder, B. D. Gates, D. Ryan, B. A. Parviz, G. M. Whitesides, Small 2005, 1, 730.
29. a) K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 2005, 17, 2332
30. b) H.-J. Chung, T.-i. Kim, H.-S. Kim, S. A. Wells, S. Jo, N. Ahmed, Y. H. Jung, S. M. Won, C. A. Bower, J. A. Rogers, Adv. Funct. Mater. 2011, 21, 3029.
31. a) H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes III, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, J. A. Rogers, Nature 2008, 454, 748
32. b) J. Yoon, S. Jo, I. S. Chun, I. Jung, H.-S. Kim, M. Meitl, E. Menard, X. Li, J. J. Coleman, U. Paik, J. A. Rogers, Nature 2010, 465, 329
33. c) Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J.-H. Song, S.-J. Park, J. A. Rogers, H. C. Ko, Small 2011, 7, 484.
34. Y. Hwang, H. A Cho, S. H. Kim, H. S. Jang, Y. Hyun, J.-Y. Chun, S.-J. Park, H. C. Ko, Soft Matter 2012, 8, 7598.
35. a) S. Kim, J. Wu, A. Carlson, S. H. Jin, A. Kovalsky, P. Glass, Z. Liu, N. Ahmed, S. L. Elgan, W. Chen, P. M. Ferreira, M. Sitti, Y. Huang, J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2010, 107, 17095
36. b) M. K. Kwak, H. E. Jeong, W. G. Bae, H.-S. Jung, K. Y. Suh, Small 2011, 7, 2296
37. c) S. Y. Yang, A. Carlson, H. Cheng, Q. Yu, N. Ahmed, J. Wu, S. Kim, M. Sitti, P. M. Ferreira, Y. Huang, J. A. Rogers, Adv. Mater. 2012, 24, 2117.
38. a) M. A. Meitl, Z.-T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Nat. Mater. 2006, 5, 33
39. b) X. Feng, M. A. Meitl, A. M. Bowen, Y. Huang, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Langmuir 2007, 23, 12555.
40. a) K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano, H. Honoso, Nature 2004, 432, 488
41. b) E. M. C. Fortunato, P. M. C. Barquinha, A. C. M B. G. Pimentel, A. M. F. Gonçalves, A. J. S. Marques, L. M. N. Pereira, R. F. P Martins, Adv. Mater. 2005, 17, 590.
42. K. K. Banger, Y. Yamashita, K. Mori, R. L. Peterson, T. Leedham, J Rickard, H. Sirringhaus, Nat. Mater. 2011, 10, 45.
43. a) B. S. Ong, C. Li, Y. Li, Y. Wu, and, R. Loutfy, J. Am. Chem. Soc. 2007, 129, 2750
44. b) K. Song, J. Noh, T. Jun, Y. Jung, H.-Y. Kang, J. Moon, Adv. Mater. 2010, 22, 4308.
45. a) W. Zhou, Y. Huang, E. Menard, N. R. Aluru, J. A. Rogers, A. G. Alleyne, Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 251925
46. b) Y. Y. Huang, W. Zhou, K. J. Hsia, E. Menard, J.-U. Park, J. A. Rogers, A. G. Alleyne, Langmuir 2005, 21, 8058.
47. a) N. P. Pham, J. N. Burghartz, P. M. Sarro, J. Micromech. Microeng. 2005, 15, 691
48. b) V. K. Singh, M. Sasaki, K. Hane, Y. Watanabe, H. Takamatsu, M. Kawakita, H. Hayashi, J. Micromech. Microeng. 2005, 15, 2239
49. c) K. Choonee, R. R. A. Syms, M. M. Ahmad, H. Zou, Sens. Actuators, A 2009, 155, 253.
50. a) K. Kim, S. Park, J.-B. Seon, K.-H. Lim, K. Char, K. Shin, Y. S. Kim, Adv. Funct. Mater. 2011, 21, 3546
51. b) J. H. Jun, B. Park, K. Cho, S. Kim, Nanotechnology 2009, 20, 505201
52. c) C. Yang, K. Hong, J. Jang, D. S. Chung, T. K. An, W.-S. Choi, C. E. Park, Nanotechnology 2009, 20, 465201.
53. R. L. Hoffman, B. J. Norris, J. F. Wager, Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 733.
54. a) S. H. Han, J. H. Kim, J. Jang, S. M. Cho, M. H. Oh, S. H. Lee, D. J. Choo, Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 073519
55. b) K. Sim, Y. Choi, H. Kim, S. Cho, S. C. Yoon, S. Pyo, Org. Electron. 2009, 10, 506
56. c) D. K. Hwang, J. H. Park, J. Lee, J.-M. Choi, J. H. Kim, E. Kim, S. Im, J. Electrochem. Soc. 2006, 153, G23
57. M. Halik, H. Klauk, U. Zschieschang, G. Schmid, W. Radlik, W. Weber, Adv. Mater. 2002, 14, 1717.
58. S. Y. Park, B. J. Kim, K. Kim, M. S. Kang, K.-H. Lim, T. I. Lee, J. M. Myoung, H. K. Baik, J. H. Cho, Y. S. Kim, Adv. Mater. 2012, 24, 834.