Nucleation-controlled growth of nanoparticles by atomic layer deposition

Chemistry of Materials

Volumn 24, Issue 21, 2012, Pages 4051-4059

  Lee, Han Bo Ram ^a   Mullings, Marja N ^a   Jiang, Xirong ^b   Clemens, Bruce M ^a   Bent, Stacey F ^a  

^a Stanford University   (United States)

^b STANFORD UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

atomic layer deposition; nanoparticle; nucleation; Pt; self assembled monolayer

Indexed keywords

AERIAL DENSITY; BEST FIT; MEAN DIAMETER; METAL ORGANIC; NUCLEATION BEHAVIOR; NUCLEATION CONTROL; NUCLEATION MODELS; NUCLEATION SITES; OCTADECYLTRICHLOROSILANE; PT PRECURSORS; SAMS;

NANOPARTICLES; NUCLEATION; ORGANIC POLYMERS; ORGANOMETALLICS; PLATINUM; SELF ASSEMBLED MONOLAYERS; SILICA;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84869034954     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm3014978     Document Type: Article

References (63)

1. Kamat, P. V. J. Phys. Chem. B 2002, 106, 7729
2. Kelly, K. L.; Coronado, E.; Zhao, L. L.; Schatz, G. C. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 668
3. Gao, X.; Cui, Y.; Levenson, R. M.; Chung, L. W. K.; Nie, S. Nat. Biotechnol. 2004, 22, 969
4. Penn, S. G.; He, L.; Natan, M. J. Curr. Opin. Chem. Biol. 2003, 7, 609
5. Wolfgang, J. P.; Daniele, G.; Teresa, P.; Daniela, Z.; Christine, M.; Shara, C. W.; Rosanne, B.; Mark, A. L. G.; Carolyn, A. L.; Alivisatos, A. P. Nanotechnology 2003, 14, R15
6. Ray, P. C.; Darbha, G. K.; Ray, A.; Walker, J.; Hardy, W. Plasmonics 2007, 2, 173
7. Zhang, H. L.; Evans, S. D.; Henderson, J. R.; Miles, R. E.; Shen, T. H. Nanotechnology 2002, 13, 439
8. El-Sayed, I. H.; Huang, X.; El-Sayed, M. A. Cancer Lett. 2006, 239, 129
9. Ivanov, S. A.; Nanda, J.; Piryatinski, A.; Achermann, M.; Balet, L. P.; Bezel, I. V.; Anikeeva, P. O.; Tretiak, S.; Klimov, V. I. J. Phys. Chem. B 2004, 108, 10625
10. Beek, W. J. E.; Wienk, M. M.; Janssen, R. A. J. Adv. Funct. Mater. 2006, 16, 1112
11. Liang, Z.; Dzienis, K. L.; Xu, J.; Wang, Q. Adv. Funct. Mater. 2006, 16, 542
12. Pillai, S.; Catchpole, K.; Trupke, T.; Green, M. J. Appl. Phys. 2007, 101, 093105
13. Schaadt, D.; Feng, B.; Yu, E. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 063106
14. Schaller, R. D.; Klimov, V. I. Phys. Rev. Lett. 2004, 92, 186601
15. Astruc, D.; Daniel, M. C.; Ruiz, J. Chem. Commun. 2004, 2637
16. Chen, M.; Goodman, D. Science 2004, 306, 252
17. Ferrando, R.; Jellinek, J.; Johnston, R. L. Chem. Rev. 2008, 108, 845
18. El-Sayed, M. A. Acc. Chem. Res. 2004, 37, 326
19. Becker, J. S.; Suh, S.; Wang, S.; Gordon, R. G. Chem. Mater. 2003, 15, 2969
20. Crowell, J. E. J. Vac. Sci. Technol., A 2003, 21, S88
21. Elam, J. W.; Routkevitch, D.; Mardilovich, P. P.; George, S. M. Chem. Mater. 2003, 15, 3507
22. Johansson, A.; Torndahl, T.; Ottosson, L.; Boman, M.; Carlsson, J. Mater. Sci. Eng., C 2003, 23, 823
23. Kucheyev, S. O.; Biener, J.; Wang, Y. M.; Baumann, T. F.; Wu, K. J.; Van Buuren, T.; Hamza, A. V.; Satcher, J. H., Jr.; Elam, J. W.; Pellin, M. J. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 083108
24. Brennan, T. P.; Ardalan, P.; Lee, H.-B.-R.; Bakke, J. R.; Ding, I.-K.; McGehee, M. D.; Bent, S. F. Adv. Energy Mater. 2011, 1, 1169
25. Dasgupta, N. P.; Jung, H. J.; Trejo, O.; McDowell, M. T.; Hryciw, A.; Brongersma, M.; Sinclair, R.; Prinz, F. B. Nano Lett. 2011, 11, 934
26. Christensen, S.; Feng, H.; Libera, J.; Guo, N.; Miller, J.; Stair, P.; Elam, J. Nano Lett. 2010, 10, 3047
27. Heo, J.; Eom, D.; Lee, S. Y.; Won, S.-J.; Park, S.; Hwang, C. S.; Kim, H. J. Chem. Mater. 2009, 21, 4006
28. Lee, H.-B.-R.; Kim, H. J. Cryst. Growth 2010, 312, 2215
29. Liu, C.; Wang, C.-C.; Kei, C.-C.; Hsueh, Y.-C.; Perng, T.-P. Small 2009, 5, 1535
30. Lu, J.; Stair, P. C. Langmuir 2010, 26, 16486
31. Kim, H.; Lee, H.-B.-R.; Maeng, W. Thin Solid Films 2009, 517, 2563
32. Lee, H.-B.-R.; Bent, S. F. Nanopatterning by Area-Selective Atomic Layer Deposition. In Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials; Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA: Berlin, Germany, 2011; pp 193-225.
33. Lee, J.; Jang, Y.; Sung, M. Adv. Funct. Mater. 2003, 13
34. Seo, E. K.; Lee, J. W.; Sung-Suh, H. M.; Sung, M. M. Chem. Mater. 2004, 16, 1878
35. Chen, R.; Kim, H.; McIntyre, P.; Bent, S. Chem. Mater. 2005, 17, 536
36. Jiang, X.; Bent, S. J. Phys. Chem. C 2009, 113, 17613
37. Balgar, T.; Bautista, R.; Hartmann, N. Surf. Sci. 2003, 532-535, 963
38. Bierbaum, K.; Grunze, M.; Baski, A. A.; Chi, L. F.; Schrepp, W.; Fuchs, H. Langmuir 1995, 11, 2143
39. Bierbaum, K.; Kinzler, M.; Woell, C.; Grunze, M.; Haehner, G.; Heid, S.; Effenberger, F. Langmuir 1995, 11, 512
40. Clear, S. C.; Nealey, P. F. Langmuir 2001, 17, 720
41. Kessel, C. R.; Granick, S. Langmuir 1991, 7, 532
42. Jiang, X.; Bent, S. J. Electrochem. Soc. 2007, 154, D648
43. Lee, H.-B.-R.; Bent, S. F. Chem. Mater. 2012, 24, 279
44. Penn, D. R. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 1976, 9, 29
45. Aaltonen, T.; Ritala, M.; Sajavaara, T.; Keinonen, J.; Leskela, M. Chem. Mater. 2003, 15, 1924
46. Jiang, X.; Chen, R.; Bent, S. F. Surf. Coat. Technol. 2007, 201, 8799
47. Ulman, A. Chem. Rev. 1996, 96, 1533
48. Chen, R.; Kim, H.; McIntyre, P. C.; Bent, S. F. Appl. Phys. Lett. 2004, 84, 4017
49. Chen, R.; Kim, H.; McIntyre, P. C.; Porter, D. W.; Bent, S. F. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 191910
50. Niesz, K.; Grass, M.; Somorjai, G. A. Nano Lett. 2005, 5, 2238
51. Sau, T. K.; Rogach, A. L. Adv. Mater. 2010, 22, 1781
52. Tsung, C.-K.; Kuhn, J. N.; Huang, W.; Aliaga, C.; Hung, L.-I.; Somorjai, G. A.; Yang, P. J. Am. Chem. Soc. 2009, 131, 5816
53. Kim, H.; Woo, S.; Bang, S.; Kim, Y.; Choi, D.; Jeon, H. Electrochem. Solid-State Lett. 2009, 12, H92
54. Yim, S. S.; Lee, D. J.; Kim, K. S.; Lee, M. S.; Kim, S. H.; Kim, K. B. Electrochem. Solid-State Lett. 2008, 11, K89
55. Ras, R. H. A.; Sahramo, E.; Malm, J.; Raula, J.; Karppinen, M. J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 11252
56. Christian, J. The Theory of Transformations in Metals and Alloys: Parts I and II; Elsevier: New York, 2002.
57. Elam, J.; Zinovev, A.; Pellin, M.; Comstock, D. ECS Trans. 2007, 3, 271
58. Li, J.; Liang, X.; King, D. M.; Jiang, Y. B.; Weimer, A. W. Appl. Catal., B 2010, 97, 220
59. Deminsky, M.; Knizhnik, A.; Belov, I.; Umanskii, S.; Rykova, E.; Bagatur'yants, A.; Potapkin, B.; Stoker, M.; Korkin, A. Surf. Sci. 2004, 549, 67
60. Frank, M. M.; Chabal, Y. J.; Wilk, G. D. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 4758
61. Kirsch, P. D.; Quevedo-Lopez, M. A.; Li, H.-J.; Senzaki, Y.; Peterson, J. J.; Song, S. C.; Krishnan, S. A.; Moumen, N.; Barnett, J.; Bersuker, G.; Hung, P. Y.; Lee, B. H.; Lafford, T.; Wang, Q.; Gay, D.; Ekerdt, J. G. J. Appl. Phys. 2006, 99, 023508
62. Yim, S.-S.; Lee, D.-J.; Kim, K.-S.; Kim, S.-H.; Yoon, T.-S.; Kim, K.-B. J. Appl. Phys. 2008, 103, 113509
63. Puurunen, R. L. Chem. Vap. Deposition 2004, 10, 159