Structural and optical properties of Cu doped ZnO thin films by co-sputtering

Journal of Nanoscience and Nanotechnology

Volumn 11, Issue 1, 2011, Pages 782-786

  Chung, Sung Mook ^a   Shin, Jae Heon ^a   Lee, Jeong Min ^a   Ryu, Min Ki ^a   Cheong, Woo Seok ^a   Park, Sang Hee Ko ^a   Hwang, Chi Sun ^a   Cho, Kyoung Ik ^a  

^a Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

Author keywords

Co sputtering; P type; TFT; ZnCuO thin films

Indexed keywords

BAND GAP ENERGY; COSPUTTERING; CU TARGET; CU-DOPED ZNO; ON-OFF RATIO; P-TYPE; ROOM TEMPERATURE; STRUCTURAL AND OPTICAL PROPERTIES; TFT; TRANSPARENT THIN FILM TRANSISTOR; XRD MEASUREMENTS; ZNO;

COPPER; ELECTRIC PROPERTIES; FILM PREPARATION; METALLIC FILMS; OPTICAL PROPERTIES; OPTOELECTRONIC DEVICES; THIN FILMS; ZINC OXIDE;

THIN FILM TRANSISTORS;

EID: 84863073650     PISSN: 15334880     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1166/jnn.2011.3157     Document Type: Conference Paper

References (26)

1. Q. Gu, T. Tanaka, M. Nishio, and H. Ogawa, J. J. Appl. Phys. 45(2007).
2. J-. H. Shin, J-. S. Lee, C-. S. Hwang, S-. H. Ko Park, W-. S. Cheong, M. K. Ryu, C-. W. Byun, J-. I. Lee, and H. Y. Chu, ETRI J. 31(2009).
3. W-. S. Cheong, J-. M. Lee, J-. H. Lee, S-. H. Ko Park, S. M. Yoon, C-. W. Byun, S. H. Yang, S. M. Chung, K. I. Cho, and C-. S. Hwang, ETRI J. 31(2009).
4. C. Y. Zhang, Mat. Sci. Semi. Proc. 10(2007).
5. H. Kawazoe, M. Tasukawa, H. Hyodo, M. Kurita, H. Yangai, and H. Hosono, Nature 389, 939(1997).
6. T. Maemoto, N. Ichiba, S. Sasa, and M. Inoue, Thin Solid Films 486(2005).
7. Y. Nakano, T. Morikawa, T. Ohwaki, and Y. Taga, Appl. Phys. Lett. 88, 172103(2006).
8. H. S. Yang, Y. Li, D. P. Norton, K. Ip, and S. J. Pearton, Appl. Phys. Lett. 86, 192103(2005).
9. X. Pan, Z. Ye, J. Li, X. Gu, Y. Zeng, H. He, L. Zhu, and Y. Che, Appl. Sur. Sci. 253(2007).
10. A. N. Banerjee, S. Kundoo, and K. K. Chattopadhyay, Thin Solid Films 440(2003).
11. J-. B. Lee, H-. J. Lee, S-. H. Seo, and J-. S. Park, Thin Solid Films 398(2001).
12. E. M. Alkoy and P. J. Kelly, Vac. 79(2005).
13. T. S. Herng, S. P. Lau, S. F. Yu, H. Y. Yang, X. H. Ji, J. S. Chen, N. Yasui, and H. Inaba, J. Appl. Phys. 99(2006).
14. H-. J. Lee, B-. S. Kim, C. R. Cho, and S-. Y. Jeong, Phy. Stat. Sol (b) 241(2004).
15. D. B. Buchholz, R. P. H. Chang, J. H. Song, and J. B. Ketterson, Appl. Phys. Lett. 87, 082504(2006).
16. J. Huso, J. L. Morrison, J. Mitchell, E. Casey, H. Hoeck, C. Walker, L. Bergman, W. M. H. Oo, and M. D. McCluskey, Appl. Phys. Lett. 94, 061919(2009).
17. X. Peng, J. Xu, H. Zang, B. Wang, and Z. Wang, J. Lumin. 128(2008).
18. M. Ötas and M. Bedir, Thin Solid Films 516(2008).
19. D. Bao, H. Gu, and A. Kuang, Thin Solid Films 312(1998).
20. Z. B. Bahşi and A. Y. Oral, Optical Materials 29(2007).
21. K. Samata, P. Bhattacharya, and R. S. Katiyar, J. Appl. Phys. 105(2009).
22. V. Figueiredo, E. Elangovan, G. Gonçalves, P. Barquinha, L. Pereira, N. Franco, E. Alves, R. Martins, and E. Fortonato, Appl. Surf. Sci. 254(2008).
23. Y. Nakano, S. Saeki, and T. Morikawa, Appl. Phys. Lett. 94, 022111(2009).
24. A. Kudo, H. Yanagi, H. Hosono, and H. Kawazoe, Appl. Phys. Lett. 73, 220(2009).
25. R. S. Ajimsha, K. A. Vanaja, M. K. Jayaraj, P. Misra, V. K. Dixit, L. M. Kukerja, Thin Solid Films 515(2007).
26. K. Matsuzaki, K. Nomura, H. Yanagi, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 93, 202107(2008).