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Volumn 1365, Issue , 2010, Pages 65-68

Developments in the fabrication of zone plates and other nanostructures

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aspect ratio; Diffraction efficiency; electroplating; resolution; RIE

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EID: 80053313426     PISSN: 0094243X     EISSN: 15517616     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1063/1.3625305     Document Type: Conference Paper
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.