Graphene epitaxy by chemical vapor deposition on SiC

Nano Letters

Volumn 11, Issue 4, 2011, Pages 1786-1791

  Strupinski, W ^a   Grodecki, K ^a,b   Wysmolek, A ^b   Stepniewski, R ^b   Szkopek, T ^c   Gaskell, P E ^c   Gruneis A ^d,e   Haberer, D ^d   Bozek, R ^b   Krupka, J ^f   Baranowski, J M ^a,b  

^a Department of Micro and Nanotechnology of Wide Bandgap Semiconductors   (Poland)

^b UNIVERSITY OF WARSAW   (Poland)

^c MCGILL UNIVERSITY   (Canada)

^d IFW DRESDEN   (Germany)

^e UNIVERSITY OF VIENNA   (Austria)

^f WARSAW UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Poland)

Author keywords

carbon deposition; CVD; epitaxy; Graphene; SiC; sublimation

Indexed keywords

ANGLE RESOLVED PHOTOEMISSION SPECTROSCOPY; CARBON DEPOSITION; COMPRESSIVE STRAIN; CONTROLLED SYNTHESIS; CVD; DOPING LEVELS; ELECTRONIC ENERGIES; EPITAXIAL GRAPHENE; EPITAXY; FUTURE APPLICATIONS; GRAPHENE GROWTH; GRAPHENE LAYERS; HIGH ELECTRON MOBILITY; HIGH QUALITY; ON-WAFER; SIC; SIC SUBSTRATES; TRANSPORT MEASUREMENTS;

ELECTRON MOBILITY; EMISSION SPECTROSCOPY; EPITAXIAL GROWTH; GRAPHENE; PHASE TRANSITIONS; RAMAN SPECTROSCOPY; SCANNING TUNNELING MICROSCOPY; SEMICONDUCTING SILICON COMPOUNDS; SILICON CARBIDE; SILICON WAFERS; SUBLIMATION; SURFACE DEFECTS;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION;

GRAPHITE; INORGANIC COMPOUND; NANOMATERIAL; SILICON CARBIDE; SILICON DERIVATIVE;

ARTICLE; CHEMISTRY; CONFORMATION; CRYSTALLIZATION; GAS; MACROMOLECULE; MATERIALS TESTING; METHODOLOGY; PARTICLE SIZE; SURFACE PROPERTY; ULTRASTRUCTURE;

CARBON COMPOUNDS, INORGANIC; CRYSTALLIZATION; GASES; GRAPHITE; MACROMOLECULAR SUBSTANCES; MATERIALS TESTING; MOLECULAR CONFORMATION; NANOSTRUCTURES; PARTICLE SIZE; SILICON COMPOUNDS; SURFACE PROPERTIES;

EID: 79954512426     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl200390e     Document Type: Article

References (48)

1. van Bommel, A. J.; Crombeen, J. E.; van Tooren, A. Surf. Sci. 1975, 48, 463
2. Berger, C.; Song, Z.; Li, X.; Wu, X.; Brown, N.; Naud, C.; Mayou, D.; Li, T.; Hass, J.; Marchenkov, A. N.; Conrad, E. H.; First, P. N.; de Heer, W. A. Science 2006, 312, 1191-1195
3. Lin, Y.-M.; Dimitrakopoulos, C.; Jenkins, K. A.; Farmer, D. B.; Chiu, H.-Y.; Science 2010, 327
4. Lin, Y.-M.; Jenkins, K. A.; Valdes-Garcia, A; Small, J. P.; Farmer, D. B.; Avouris, P. Nano Lett. 2009, 9, 422-426
5. Gunlycke, D.; Areshkin, D. A.; Li, J.; Mintmire, J. W.; White, C. T. Nano Lett. 2007, 7, 3608-3611
6. Rana, F. IEEE Trans. Nanotechnol. 2008, 7, 91-99
7. Schedin, F.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Hill, E. W.; Blake, P.; Katsnelson, M. I.; Novoselov, K. S. Nat. Mater. 2007, 6, 652-655
8. Reina, A.; Jia, X.; Ho, J.; Nezich, D.; Son, H.; Bulovic, V.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2009, 9, 30-35
9. Meyer, J. C.; Geim, A. K.; Katsnelson, M. I.; Novoselov, K. S.; Booth, T. J.; Roth, S Nature 2007, 446, 60
10. Li, X.; Cai, W.; An, J.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; Banerjee, S. K.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Science 2009, 324, 1312
11. Reina, A.; Son, H.; Jiao, L.; Fan, B.; Dresselhaus, M. S.; Liu, Z. F.; Kong, J. J. Phys. Chem. C 2008, 112, 17741
12. Kim, K. S.; Zhao, Y.; Jang, H.; Lee, S. Y.; Kim, J. M.; Kim, K. S.; Ahn, J.-H.; Kim, P.; Choi, J.-Y.; Hong, B. H. Nature 2009, 457, 706-710
13. Sun, Z.; Yan, Z.; Yao, J.; Beitler, E.; Zhu, Y.; Tour, J. M. Nature 2010, 468, 549
14. Grüneis, A.; Kummer, K.; Vyalikh, D. V. New J. Phys. 2009, 11, 073050
15. Dreyer, D. R.; Ruoff, R. S.; Bielawski, C. W. Angew. Chem. Int. Ed. 2010, 49, 9336
16. Zhu, Y.; Murali, S.; Cai, W.; Li, X.; Suk, J. W.; Potts, J. R.; Ruoff, R. S. Adv. Mater. 2010, 22, 3906
17. May, J. Surf. Sci. 1969, 17, 267
18. Shelton, J. C.; Patil, H. R.; Blakely, J. M. Surf. Sci. 1974, 43, 493
19. Eizenberg, M.; Blakely, J. M. Surf. Sci. 1979, 8, 228
20. Oshima, C.; Nagashima, A. J. Phys.: Condens. Matter 1997, 9, 1
21. Qingkai, Y.; Jie, L.; Sujitra, S.; Hao, L.; Yong, C.; Shin-Shem, P. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 113103
22. Bae, S.; Kim, H.; Lee, Y.; Xu, X.; Park, J.-S.; Zheng, Y.; Balakrishnan, J.; Lei, T.; Kim, H. R.; Song, Y. I.; Kim, Y.-I.; Kim, K. S.; Ozyilmaz, B.; Ahn, J.-H.; Hong, B. H.; Iijima, S. Nat. Nanotechnol. 2010, 5 (8) 574-578
23. Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Zhang, Y.; Dubonos, S. V.; Grigorieva, I. V.; Firsov, A. A. Science 2004, 306, 666-669
24. Geim, A. K.; Novoselov, K. S. Nat. Mater. 2007, 6, 183-191
25. Forbeaux, I.; Themlin, J.-M.; Debever, J.-M. Phys. Rev. B 1998, 58 (24) 16396
26. Hass, J.; Feng, R.; Li, T.; Li, X.; Zong, Z.; de Heer, W. A.; First, P. N.; Conrad, E. H.; Jeffrey, C. A.; Berger, C. Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 143106
27. Hass, J.; Varchon, F.; Millan-Otoya, J. E.; Sprinkle, M.; Sharma, N.; de Heer, W. A.; Berger, C.; First, P. N.; Magaud, L.; Conrad, E. H. Phys. Rev. Lett. 2008, 100, 125504
28. Emtsev, K. V.; Bostwick, A.; Horn, K.; Jobst, J.; Kellogg, G. L.; Ley, L.; McChesney, J. L.; Ohta, T.; Reshanov, S. A.; R, J.; Rotenberg, E.; Schmid, A. K.; Waldmann, D.; Weber, H. B.; Seyller, T. Nat. Mater. 2009, 8, 203
29. Yakes, M. K.; Gunlycke, D.; Tedesco, J. L.; Campbell, P. M.; Myers-Ward, R. L.; Eddy, C. R., Jr.; Gaskill, D. K.; Sheehan, P. E.; Laracuente, A. R. Nano Lett. 2010, 10, 1559-1562
30. Virojanadara, C.; Watcharinyanon, S.; Zakharov, A. A.; Johansson, L. I. Phys. Rev. B 2010, 82, 205402
31. Strupinski, W.; Bozek, R.; Borysiuk, J.; Kosciewicz, K.; Wysmolek, A.; Stepniewski, R.; Baranowski, J. M. Mater. Sci. Forum 2009, 615-617, 199-202
32. Gaskell, P. E.; Skulason, H. S.; Strupinski, W.; T Szkopek, T. Opt. Lett. 2010, 35, 3336
33. Strupinski, W.; Drabinska, A.; Bozek, R.; Borysiuk, J.; Wysmolek, A.; Stepniewski, R.; Kosciewicz, K.; Caban, P.; Korona, K.; Grodecki, K.; Geslin, P.-A.; Baranowski, J. M. Mater. Sci. Forum 2010, 645-648, 569-572
34. Drabinska, A.; Grodecki, K.; Strupinski, W.; Bozek, R.; Korona, K. P.; Wysmolek, A.; Stepniewski, R.; Baranowski, J. M. Phys. Rev. B 2010, 81, 245410
35. Tanaka, S.; Morita, K.; Hibino, H. Phys. Rev. B 2010, 81, 041406(R)
36. Ohta, T.; Bostwick, A.; McChesney, J. L.; Seyller, T.; Horn, K.; Rotenberg, E. Phys. Rev. Lett. 2007, 98, 206802
37. Bostwick, A.; Ohta, T.; McChesney, J. L.; Emtsev, K. V.; Seyller, T.; Horn, K.; Rotenberg, E. New J. Phys. 2007, 9, 385
38. Grüneis, A.; Attaccalite, C.; Rubio, A.; Vyalikh, D. V.; Molodtsov, S. L.; Fink, J.; Follath, R.; Eberhardt, W.; Büchner, B.; Pichler, T. Phys. Rev. B 2009, 80, 075431
39. Rotenberg, E.; Bostwick, A.; Ohta, T.; McChesney, J. L.; Seyller, T.; Horn, K. Nat. Mater. 2008, 7, 258-259
40. Zho, S. Y.; Gweon, G.-H.; Fedorov, A. V.; First, P. N.; de Heer, W. A.; Lee, D.-H.; Guinea, F.; Castro Neto, A. H.; Lanzara, A. Nat. Mater. 2007, 6, 770-775
41. Feralis, N.; Maboudian, R.; Carraro, C. Phys. Rev. Lett. 2008, 101, 15681
42. Ni, Z.; Chen, W.; Fan, X.; Yu, T.; Wee, A.; Shen, Z. Phys Rev B 2008, 77, 115461
43. Feralis, N.; Kawsaki, J.; Maboudian, R.; Carraro, C. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 191916
44. Rohr, J.; Hundhausen, M.; Emtsev, K.; Seyller, T.; Graupner, R.; Ley, L. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 201918
45. Robinson, J.; Puls, C.; Stanley, N.; Stitt, J.; Fanton, M.; Emtsev, K.; Seyller, T.; Liu, Y. Nano Lett. 2009, 9, 964
46. Graf, D.; Molitor, F.; Ensslin, K.; Stapfer, C.; Jungen, A.; Hierold, C.; Wirtz, L. Nano Lett. 2007, 7, 238-242
47. Ferralis, N. J. Mater. Sci. 2010, 45, 5135
48. Krupka, J.; Strupinski, W. Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 082101