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Volumn 1221, Issue , 2010, Pages 56-58

Co/Mg/X multilayer mirrors for the EUV range

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Cobalt; Magnesium; Multilayer; X ray reflectivity

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EID: 77957984325     PISSN: 0094243X     EISSN: 15517616     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1063/1.3399257     Document Type: Conference Paper
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References (2)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.