Treatment of hexatriacontane by Ar-O2 remote plasma: Formation of the active species

Plasma Processes and Polymers

Volumn 6, Issue SUPPL. 1, 2009, Pages

  Mafra, Mareio ^a,b   Belmonte, Thierry ^a   Poncin Epaillard, Fabienne ^c   Maliska, Ana ^b   Cvelbar, Urǒs ^d  

^a INSTITUT JEAN LAMOUR   (France)

^b FEDERAL UNIVERSITY OF SANTA CATARINA   (Brazil)

^c UNIVERSITÉ DU MAINE   (France)

^d JO EF STEFAN INSTITUTE   (Slovenia)

Author keywords

Afterglow plasma processes; Functionalization of polymers; Hydrocarbons; Plasma etching; Surface modification

Indexed keywords

ACTIVE SPECIES; AFTERGLOW PLASMA PROCESS; ATOMIC OXYGEN; FUNCTIONALIZATION OF POLYMERS; HEXATRIACONTANE; MATERIAL TRANSFORMATION; REMOTE PLASMAS; STRONG CORRELATION; SURFACE MODIFICATION; TREATMENT TEMPERATURE;

FUNCTIONAL POLYMERS; ORGANIC COMPOUNDS; OXYGEN; PARAFFINS; PLASMA ETCHING; POLYMERS;

PLASMAS;

EID: 77951052955     PISSN: 16128850     EISSN: 16128869     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/ppap.200932406     Document Type: Conference Paper

References (30)

1. L. Rongzhi, Y. Lin, W. M. Yiu, Compos. Part A Appl. Sci 1997, 28A, 73.
2. F. D. Egitto, L. J. Matienzo, IBM J. Res. Dev. 1994, 38, 423.
3. J. Hong, F. Truica-Marasescu, L. Martinu, M. R. Wertheimer, Plasmas Polym. 2002, 7, 245.
4. S. Moreau, M. Moisan, M. Tabrizan, J. Barbeau, J. Pelletier, A. Ricard, L-H. Yahia, J. Appl Phys. 2000, 88, 1166.
5. A. C. Fozza, J. Roch, J. E. Klemberg-Sapieha, A. Kruse, A. Holländer, M. R. Wertheimer, Nucl. Instrum. Meth. B 1997, 131, 205.
6. M. R. Wertheimer, A. C Fozza, A. Holländer, Nucl. Instrum. Meth. B 1999, 151, 65.
7. V. Hody, T. Belmonte, T. Czerwiec, G. Henrion, J. M. Thiébaut, Thin Solid Films 2006, 506-507, 212.
8. V. Hody, T. Belmonte, C. Pintassilgo, F. Poncin-Epaillard, T. Czerwiec, G. Henrion, Y. Segui, J. Loureiro, Plasma Chem. Plasma Proc. 2006, 26, 251.
9. M. Mafra, T. Belmonte, A. Maliska, A. S. da Silva Sobrinho, U. Cvelbar, F. Poncin-Epaillard, Key Eng. Mat. 2008, 373-374, 421.
10. T. Czerwiec, J. Gavillet, T. Belmonte, H. Michel, A. Ricard, Surf. Coat. Technol 1998, 98, 1411.
11. M. Touzeau, M. Vialle, A. Zellagui, G. Gousset, M. Lefebvre, M. Pealat, J. Phys. D Appl. Phys. 1991, 24, 41.
12. R. I. Gonzalez, S. H. Phillips, G. B. Hoflund, J. Appl. Polym. Sci. 2004, 92, 1977.
13. R. A. Young,;. Chem.Phys. 34, 1961, 1292-1294.
14. K.M. Everson, D. S. Burch, J. Chem. Phys. 1966, 45, 956-973.
15. R. J. McNeal, S. C. Durana, J. Chem. Phys. 1969, 51, 2955.
16. T. G. Slanger, V. Degen, Planet Space Sci 1986, 34, 971.
17. T. G. Slanger, J. Chem. Phys. 1978, 69, 4779.
18. R. A. Young, R. L. Sharpless, J. Chem. Phys. 1963, 39, 1071.
19. I. C. McDade, Adv. Space Res. 1998, 19, 653.
20. T. G. Slanger, R. A. Copeland, Chem. Rev. 2003, 103, 4731.
21. I. C. McDade, D. P. Murtagh, R. G. H. Greer, P. H. G. Dickinson, G. Witt, J. Stegman, E. J. Llewellyn, L Thomas, D. B. Jenkins, Planet Space Sci 1986, 34, 789.
22. S. Panda, D. J. Economou, J. Appl. Phys. 2000, 87, 8323.
23. A. A. Fateev, V. S. Ivanov, A. M. Pravilov, L. G. Smimova, J. Phys. B At Mol. Opt. Phys. 1996, 29, 1351.
24. D. P. Murtagh, I. C. McDade, R. G. H. Greer, J. Stegman, G. Witt, E. J. Llewellyn, Planet Space Sci. 1986, 34, 811.
25. S. M. L. Melo, H. Takahashi, B. R. Clemesha, P. P. Batista, D. M. Simonich, J. Atmos. Sol Terr. Phys. 1996, 58, 1935.
26. J. Warnatz, W. C. Jr., Eds., "Combustion Chemistry", SpringerVerlag, New York, 1984.
27. Sharpless, R. L. Gardiner L. E. Jusinski, T. G. Slanger, J. Chem. Phys. 1989, 92, 7936.
28. D. A. Pejakovic, R. A. Copeland, T. G. Slanger, K. S. Kalogerakis, Chem. Phys. Lett. 2005, 403, 372.
29. T. G. Slanger, G. Black, J. Chem. Phys. 1979, 70, 3434.
30. L. Lefèvre, T. Belmonte, H. Michel, J. Appl. Phys. 2000, 87, 7497.