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Volumn 22, Issue 2, 2009, Pages 249-251

Plasma polymer thin films with controlled topography and chemistry at the nanoscale

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DUV lithography; Nanopatterning; Plasma polymer

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EID: 70350168086     PISSN: 09149244     EISSN: 13496336     Source Type: Journal    
DOI: 10.2494/photopolymer.22.249     Document Type: Article
Times cited : (2)

References (6)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.