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Volumn 133, Issue , 2008, Pages

Development, diagnostic and applications of radio-frequency plasma reactor

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EID: 65249116380     PISSN: 17426588     EISSN: 17426596     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1088/1742-6596/133/1/012007     Document Type: Article
Times cited : (2)

References (19)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.