Structure of the SiNx/GaAs (110) interface modified with ultrathin Si and sulfur passivation

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 14, Issue 4, 1996, Pages 2895-2900

  Huang, L J ^a  

^a Department of Materials Engineering ^*  (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 6244302657     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.588931     Document Type: Article

References (21)

1. Z. Wang, M. E. Lin, D. Biswas, B. Mazhari, N. Teraguchi, Z. Fan, X. Gui, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 62, 2977 (1993);
2. D. S. L. Mui, D. Biswas, J. Reed, A. L. Demirel, S. Strite, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. ibid. 60, 2511 (1992).
3. J. L. Freeouf, D. A. Buchanan, S. L. Wright, T. N. Jackson, and B. Robinson, Appl. Phys. Lett. 57, 1919 (1990).
4. H. Hasegawa, M. Akazawa, H. Ishii, and K. Matsuzaki, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 870 (1989).
5. A. Callegari, P. D. Hoh, D. A. Buchanan, and D. Lacey, Appl. Phys. Lett. 54, 332 (1989);
6. A. Callegari, D. K. Sadana, D. A. Buchanan, A. Paccagnella, E. D. Marshall, M. A. Tischler, and M. Norcott, Appl. Phys. Lett. ibid. 58, 2540 (1991).
7. A. Paccagnella, A. Callegari, J. Batey, and D. Lacey, Appl. Phys. Lett. 57, 258 (1990).
8. R. W. Grant and J. R. Waldrop, J. Vac. Sci. Technol. B 5, 1015 (1987).
9. C. J. Sandroff, M. S. Hedge, L. A. Farrow, C. C. Chang, and J. P. Harbison, Appl. Phys. Lett. 54, 362 (1989);
10. C. J. Sandroff, R. N. Nottenburg, J. C. Bischoff, and R. Bhat, Appl. Phys. Lett. ibid. 51, 33 (1987).
11. L. J. Huang, K. Rajesh, W. M. Lau, S. Ingrey, D. Landheer, J. P. Noel, and Z. H. Lu, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 792 (1995).
12. Z. H. Lu, D. Landheer, J. M. Baribeau, L. J. Huang, and W. M. Lau, Appl. Phys. Lett. 64, 1702 (1994).
13. J. Reed, Z. Fan, G. B. Gao, A. Botchkarev, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 64, 2706 (1994).
14. D. Landheer, Z. H. Lu, J. -M. Baribeau, L. J. Huang, and W. M. Lau, J. Electron. Mater. 23, 943 (1994).
15. L. J. Huang, W. M. Lau, H. T. Tang, I. V. Mitchell, W. N. Lennard, P. J. Schultz, and M. Kraisa, Phys. Rev. B 50, 18 453 (1994).
16. J. L. Freeouf and J. M. Woodall, Appl. Phys. Lett. 39, 727 (1981).
17. W. K. Chu, J. W. Meyer, and M.-A. Nicolet, Backscattering Spectroscopy (Academic, New York, 1978).
18. H. Xia, W. N. Lennard, L. J. Huang, W. M. Lau, D. Landheer, J. M. Baribeau, and S. Ingrey (unpublished).
19. P. A. Lee, P. H. Citrin, P. Eisenberger, and B. M. Kincaid, Rev. Mod. Phys. 53, 769 (1981).
20. J. Falta, M. Copel, F. K. LeGoues, and R. M. Tromp, Phys. Rev. B 47, 9610 (1993).
21. L. J. Huang et al. (unpublished).