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Schuenemann, M.; Schafer, W.; SchlieBer, J.; Gehringer, H. Innovationspotentiale im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik. In: Gens, W. (Hrsg.): Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechnik und Mikrosystemtechnik. Tagungsband 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Ilmenau, 23. - 26. September 1996, Band 1. Ilmenau: Technische Universität Ilmenau, 1996, S. 265 - 270
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Schuenemann, M.; Schafer, W.; SchlieBer, J.; Gehringer, H. Innovationspotentiale im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik. In: Gens, W. (Hrsg.): Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechnik und Mikrosystemtechnik. Tagungsband 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Ilmenau, 23. - 26. September 1996, Band 1. Ilmenau: Technische Universität Ilmenau, 1996, S. 265 - 270
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84888528061
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Grimme, R.; Schuenemann, M.; Schliesser, J.; Kaufmann, T.; Schaefer, W.: Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems. In: ICCCS (Hrsg.): Proceedings 13th International Symposium on Contamination Control, Den Haag, September 16 - 20, 1996. Waddinxveen (NL): Stouthart Communicatie, 1996, S. 183 - 190
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Grimme, R.; Schuenemann, M.; Schliesser, J.; Kaufmann, T.; Schaefer, W.: Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems. In: ICCCS (Hrsg.): Proceedings 13th International Symposium on Contamination Control, Den Haag, September 16 - 20, 1996. Waddinxveen (NL): Stouthart Communicatie, 1996, S. 183 - 190
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SEMI International (Ed.): Book of SEMI Standards. Equipement Automation / Hardware quot; Mountain View, CA (US): Semiconductor Equipement and Materials International, 1995
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SEMI International (Ed.): "Book of SEMI Standards. Equipement Automation / Hardware Volume" Mountain View, CA (US): Semiconductor Equipement and Materials International, 1995
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Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schafer, W.: Modulares Gerätekonzept zur Mikrolinsenmontage. In: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA (Veranst.): ProMikro '96. Produktionstechnik für hybride Mikrosysteme kleiner und mittlerer Stückzahl. Tagung Stuttgart, 5./6. November 1996. Stuttgart, 1996, o. Z.
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Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schafer, W.: Modulares Gerätekonzept zur Mikrolinsenmontage. In: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA (Veranst.): ProMikro '96. Produktionstechnik für hybride Mikrosysteme kleiner und mittlerer Stückzahl. Tagung Stuttgart, 5./6. November 1996. Stuttgart, 1996, o. Z.
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Stock, A.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Dettmann, H.; Schäfer, W.: Inspektionsmodul zur Prüfung optischer Bauteile. In: Fraunhofer-Institut fur Produktionstechnik und Automatisierung IPA (Veranst.): ProMikro '96. Produktionstechnik für hybride Mikrosysteme kleiner und mittlerer Stückzahl. Tagung Stuttgart, 5./6. November 1996. Stuttgart, 1996, o. Z.
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Stock, A.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Dettmann, H.; Schäfer, W.: Inspektionsmodul zur Prüfung optischer Bauteile. In: Fraunhofer-Institut fur Produktionstechnik und Automatisierung IPA (Veranst.): ProMikro '96. Produktionstechnik für hybride Mikrosysteme kleiner und mittlerer Stückzahl. Tagung Stuttgart, 5./6. November 1996. Stuttgart, 1996, o. Z.
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Schlenker, D.; Grimme, R.; Stock, A.; Schafer, W.: Halbautomat zur Montage von miniaturisierten optischen Systemen. In: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA (Veranst.): ProMikro '96. Produktionstechnik für hybride Mikrosysteme kleiner und mittlerer Stückzahl. Tagung Stuttgart, 5/6. November 1996. Stuttgart, 1996, o. Z.
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Schlenker, D.; Grimme, R.; Stock, A.; Schafer, W.: Halbautomat zur Montage von miniaturisierten optischen Systemen. In: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA (Veranst.): ProMikro '96. Produktionstechnik für hybride Mikrosysteme kleiner und mittlerer Stückzahl. Tagung Stuttgart, 5/6. November 1996. Stuttgart, 1996, o. Z.
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58849161126
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New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
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Session 603. Santa Clara, CA US, S
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Dorner, J.; Grimme, R.; Schuenemann, M.; Schliesser, J.; Kaufmann, T.; Schaefer, W.: New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production. In: Proc. Clean Rooms '96 West. The Conference on Advanced Microcontamination Control and Ultrapure Manufacturing Santa Clara, CA (US), October 28 - 30, 1996. Session 603. Santa Clara, CA (US), 1996, S. 21 - 34
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(1996)
Proc. Clean Rooms '96 West. The Conference on Advanced Microcontamination Control and Ultrapure Manufacturing Santa Clara, CA (US), October 28
, vol.30
, pp. 21-34
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Dorner, J.1
Grimme, R.2
Schuenemann, M.3
Schliesser, J.4
Kaufmann, T.5
Schaefer, W.6
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