Micromachining by milling, drilling and grinding;Spanende mikrofertigung: Flexibilität durch schleifen, bohren und fräsen

F and M; Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Messtechnik

Volumn 104, Issue 7-8, 1996, Pages 525-530

  Westkämper, Engelbert ^a,b,c,d,e   Hoffmeister, Hans Werner ^a,f,g,h   Gäbler, Jan ^a,c,g,i  

^a RWTH Aachen ^*

^b RWTH AACHEN UNIVERSITY   (Germany)

^c UNIVERSITY OF STUTTGART   (Germany)

^d Instituts F Fabrikbetrieb I

^e TU Braunschweig   (Germany)

^f Abteilung Feinbearbeitung

^g TECHNICAL UNIVERSITY OF BRAUNSCHWEIG   (Germany)

^h Institut Beschäftigt

ⁱ Arbeitsgebiet Mikrotechnik V

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EID: 5244253802     PISSN: 09441018     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (9)

1. Heuberger, A. (Hrsg.): 〉Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie〈; Berlin: Springer, 1991
2. Büttgenbach, S.: 〉Mikromechanik: Einführung in Technologie und Anwendungen〈; Stuttgart: Teubner, 1991
3. Schaller, T.; Bier, W.; Linder, G.; Schubert, K.: 〉Mechanische Mikrostrukturierung metallischer Oberflächen〈; F&M 102 (1994) 5-6, S. 274-278
4. Nussbaumer, H.; Willeke, G.; Bucher, E.: 〉Optical behaviour of textured silicon〈; J. appl. Phys. Vol. 75, (15.02.1994), No. 4, S. 2203-2209
5. Manz, F.: 〉Naturdiamantwerkzeuge für die Mikrobearbeitung〈; Industrie Diamanten Rundschau (IDR) (1990) 1, S. 49-50
6. Taniguchi, N.: 〉Current Status in, and Future Trends of, Ultraprecision Machining and Ultrafine Materials Processing〈; Manufacturing Technology - CIRP Annals Vol. 32/2 (1983) 2, S. 1-10
7. N. N.: 〉Nicht fürs Grobe gedacht : CNC-Werkzeugmaschine für Arbeiten im Mikrobereich〈; Fertigung (1990) Juni, S. 62-64
8. Primacon Maschinenbau GmbH, Peißenberg
9. Tönshoff, H.; v. Schmieden, W.; Inasaki, I.; König, W.; Spur, G.: 〉Abrasive Machining of Silicon〈; Manufacturing Technology - CIRP Annals Vol. 39/2 (1990), S. 621-635