Structural investigation of the initial interface region formed by thin titanium films on silicon (111)

Journal of Applied Physics

Volumn 80, Issue 1, 1996, Pages 183-187

  Edwards, A M ^a,b   Dao, Y ^a   Nemanich, R J ^a   Sayers, D E ^a  

^a NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY   (United States)

^b UNIVERSITY OF PENNSYLVANIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 5244238030     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.362803     Document Type: Article

References (31)

1. S. P. Murarka, J. Vac. Sci. Technol. 17, 775 (1980).
2. G. G. Bentini, R. Nipoti, A. Armigliato, M. Berti, A. A. Drigo, and C. Cohen, J. Appl. Phys. 57, 270 (1985).
3. I. J. M. M. Raaijmakers, A. H. Reader, and P. H. Costing, J. Appl. Phys. 63, 2790 (1988).
4. H. J. W. van Houtum, I. J. M. M. Raaijmakers, and T. J. M. Menting, J. Appl. Phys. 61, 3116 (1987).
5. H. Jeon and R. J. Nemanich, Thin Solid Films 184, 357 (1990).
6. H. Jeon, C. A. Sukow, J. W. Honeycutt, T. P. Humphreys, R. J. Nemanich, and G. A. Rozgonyi, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 181, 559 (1990).
7. H. Jeon, C. A. Sukow, J. W. Honeycutt, G. A. Rozgonyi, and R. J. Nemanich, J. Appl. Phys. 71, 4269 (1992).
8. D. B. Aldrich, R. W. Fiordalice, H. Jeon, Q. Islam, R. J. Nemanich, and D. E. Sayers, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 159, 167 (1989).
9. A. M. Edwards, Y. Dao, R. J. Nemanich, D. E. Sayers, and K. M. Kemner, J. Appl. Phys. 76, 4630 (1994).
10. Y. U. Idzerda, E. D. Williams, R. L. Park, and J. Vähäkangas, Surf. Sci. Lett. 177, L1028 (1986).
11. Y. U. Idzerda, E. D. Williams, T. L. Einstein, and R. L. Park, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 847 (1987).
12. W. Lur and L. J. Chen, Appl. Phys. Lett. 54, 1217 (1989).
13. H. C. Cheng and L. J. Chen, Appl. Phys. Lett. 46, 562 (1985).
14. J. Y. Cheng and L. J. Chen, Appl. Phys. Lett. 56, 457 (1990).
15. J. Y. Cheng and L. J. Chen, J. Appl. Phys. 68, 4002 (1990).
16. T. Yamauchi, S. Zaima, K. Mizuno, H. Kitamura, Y. Koide, and Y. Yasuda, J. Appl. Phys. 69, 7050 (1991).
17. W. T. Elam, J. P. Kirkland, R. A. Neiser, and P. D. Wolf, Physica B 158, 295 (1989).
18. K. M. Kemner, Z. Wang, R. A. Mayanovic, and B. A. Bunker, Nucl. Instrum. Methods B 71, 345 (1992).
19. Eindhoven University, The Netherlands.
20. S. J. Gurman, N. Binsted, and I. Ross, J. Phys. C 17, 143 (1984).
21. N. Binsted, S. J. Gurman, and J. W. Campbell, SERC Daresbury Laboratory EXCURV88 Program, 1988.
22. R. W. Joyner, K. J. Martin, and P. Meehan, J. Phys. C 20, 4005 (1987).
23. Y. Dao, A. M. Edwards, D. E. Sayers, and R. J. Nemanich, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 320, 367 (1993).
24. R. Butz, G. W. Rubloff, T. Y. Tan, and P. S. Ho, Phys. Rev. B 30, 5421 (1984).
25. K. Holloway and R. Sinclair, J. Appl. Phys. 61, 1359 (1986).
26. Z. Ma, Y. Xu, L. H. Allen, and S. Lee, J. Appl. Phys. 74, 2954 (1993).
27. W. Lur and L. J. Chen, J. Appl. Phys. 66, 3604 (1989).
28. M. H. Wang and L. J. Chen, Appl. Phys. Lett. 58, 463 (1990).
29. M. Joo, Ph.D. dissertion, North Carolina State University, 1992.
30. Y. Dao, A. M. Edwards, H. Ying, Y. L. Chen, D. E. Sayers, and R. J. Nemanich, Appl. Phys. Lett. 65, 2413 (1994).
31. Y. Dao, A. M. Edwards, R. J. Nemanich, and D. E. Sayers, Physica B 209, 513 (1995).