High throughput thin film materials science

Materials Science and Technology

Volumn 24, Issue 7, 2008, Pages 757-770

  Barber, Z H ^a   Blamire, M G ^a  

^a UNIVERSITY OF CAMBRIDGE   (United Kingdom)

Author keywords

Characterisation; Combinatorial; Thin film; X ray diffraction

Indexed keywords

ARSENIC COMPOUNDS; CHEMICAL ANALYSIS; CHEMICAL COMPOUNDS; COMPUTER NETWORKS; ERROR ANALYSIS; GROWTH (MATERIALS); MATERIALS; MATERIALS SCIENCE; PHASE DIAGRAMS; SOLIDS; THICK FILMS; THIN FILM DEVICES; THIN FILMS; THROUGHPUT;

CHARACTERISATION; COMBINATORIAL; HIGH THROUGHPUTS; THIN FILM; X-RAY DIFFRACTION;

FILM GROWTH;

EID: 51349093469     PISSN: 02670836     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1179/174328408X293612     Document Type: Review

References (91)

1. J. Naganiatsu, N. Nakagawa, T. Muranaka, Y. Zenitani and J. Akimitsu: Nature, 2001, 410, 63.
2. R. von Helmolt, J. Wecker, B. Holzapfel, L. Schultz and K. Samwer: Phys. Rev. Lett., 1993, 71, 2331.
3. F. Balkenhohl, C. von dem Bussche-Hünnefeld, A. Lansky and C. Zechel: Angew. Chem., 1996, 35, 2288.
4. L. A. Thompson and J. A. Ellman: Chem. Rev., 1996, 96, 555.
5. A. Hagemeyer. B. Jandeleit, Y. M. Liu, D. M. Poojary, H. W. Turner, A. F. Volpe, and W. H. Weinberg: Appl. Catal. A, 2001, 221A, 23.
6. P. P. Pescarmona, J. C. van der Waal, I. E. Maxwell and T. Maschmeyer: Catal. Lett., 1999, 63, 1.
7. X. D. Xiang: Ann. Rev. Mater. Sci., 1999, 29, 149.
8. B. J. Chisholm and D. C. Webster: J. Coal. Technol. Res., 2007, 4, 1.
9. W. F. Maier, K. Stowe and S. Sieg: Angew. Chem., 2007, 46, 6016.
10. J. C. Zhao: Prog. Mater. Sci., 2006, 51, 557.
11. H. M. Christen, I. Ohkubo, C. M. Rouleau, G. E. Jellison, A. A. Puretzky, D. B. Geohegan and D. H. Lowndes: Meas. Sci. Technol., 2005, 16, 21.
12. H. Koinuma and I. Takeuchi: Nature Mater., 2004, 3, 429.
13. K. Fujimoto, K. Takada, T. Sasaki and M. Watanabe: Appl. Surf. Sci., 2004, 223, 49.
14. X. D. Xiang, X. D. Sun, G. Briceno, Y. L. Lou, K. A. Wang, H. Y. Chang, W. G. Wallacefreedman, S. W. Chen and P. G. Schultz: Science. 1995, 268, 1738.
15. M. Thelakkat, C. Schmitz, C. Neuber and H. W. Schmidt: Macromol. Rapid Commun., 2004, 25, 204.
16. K. Kennedy, T. Stefansky, G. Davy, V. F. Zackay and E. R. Parker: J. Appl. Phys., 1965, 36, 3808.
17. H. Kubota, R. Takahashi, T.-W. Kim, T. Kawazoe. M. Ohtsu, N. Arai, M. Yoshimura, H. Nakao, H. Furuya, Y. Mori, T. Sasaki, Y. Matsumoto and H. Koinuma: Appl. Surf. Sci., 2004, 223, 241.
18. E. Danielson, M. Devenney, D. M. Giaquinta, J. H. Golden, R. C. Haushalter, E. W. McFarland, D. M. Poojary, C. M. Reaves, W. H. Weinberg and X. D. Wu: Science, 1998, 279, 837.
19. E. Danielson, J. H. Golden, E. W. McFarland, C. M. Reaves, W. H. Weinberg and X. D. Wu: Nature, 1997, 389, 944.
20. J. S. Wang, Y. Yoo, C. Gao, I. Takeuchi, X. D. Sun, H. Y. Chang, X. D. Xiang and P. G. Schultz: Science. 1998, 279, 1712.
21. R. B. van Dover, L. D. Schneemeyer and R. M. Fleming: Nature, 1998, 392, 162.
22. P. Ahmet, T. Nagata, D. Kukuruznyak, S. Yagyu, Y. Wakayama, M. Yoshitake and T. Chikyow: Appl. Surf. Sci., 2006, 252, 2472.
23. J. S. Cooper, G. H. Zhang and P. J. McGinn: Rev. Sci. Instrum., 2005, 76, 062221.
24. S. Guerin and B. E. Hayden: J. Combinat. Chem., 2006, 8, 66.
25. H. M. Christen, S. D. Silliman and H. S. Harshavardhan: Rev. Sci. Instrum., 2001, 72, 2673.
26. P. Ahmet, Y. Z. Yoo. K. Hasegawa. H. Koinuma and T. Chikyow: Appl. Phys. A, 2004, 79A, 837.
27. A. Venimadhav, K. A. Yates and M. G. Blamire: J. Combinat. Chem., 2005, 7, 85.
28. L. Zhong, Z. Zhang, S. A. Campbell and W. L. Gladfelter: J. Mater. Chem., 2004, 14, 3203.
29. Q. Wang, F. Liu and D. Han: Macromol. Rapid Commun., 2004, 25, 326.
30. Q. Wang, Y. Guozhen, J. Li and D. Han: Solid State Commun., 2000, 113, 175.
31. C. H. Oik and D. N. Haddad: J. Mater. Res., 2006, 21, 1221.
32. J. A. Thornton: Ann. Rev. Mater. Sci., 1977, 7, 239.
33. T. C. Chen, T. Li, X. Zhang and S. B. Desu: J. Muter. Res., 1997, 12, 1569.
34. D. G. Schlom, J. H. Haeni, J. Lettieri, C. D. Theis, W. Tian, J. C. Jiang and X. Q. Pan: Mater. Sci. Eng. B, 2001, 87B, 282.
35. P. K. Muduli, S. K. Bose and R. C. Budhani: J. Phys: Condens. Matter, 2007, 19, 226204.
36. Z. H. Barber: J. Phys. Condens. Matter, 2007, 19, 221001.
37. T. Koida, D. Komiyama, H. Koinuma, M. Ohtani, M. Lippmaa and M. Kawasaki: Appl. Phys. Lett., 2002, 80, 565.
38. M. G. Blamire, R. E. Somekh, J. M. Lumley, G. W. Morris, Z. H. Barber and J. E. Evetts: J. Phys. D. 1987, 20D, 1159.
39. J. Nishimura, T. Fukumura, M. Ohtani, Y. Taguchi, M. Kawasaki, I. Ohkubo, H. Koinuma, H. Ohguchi, K. Ono, M. Oshima and Y. Tokura: Appl. Phys. Lett., 2003, 82, 1571.
40. H. Minami, K. Itaka, P. Ahmet, D. Komiyama, T. Chikyow, M. Lippmaa and H. Koinuma: Jpn J. Appl. Phys., 2002, 41, L149.
41. A. Tsukasaki, H. Saito, K. Tamura, M. Ohtani, H. Koinuma, M. Sumiya, S. Fuke, T. Fukumura and M. Kawasaki: Appl. Phys. Lett., 2002, 81, 235.
42. I. Ohkubo, H. M. Christen, S. V. Kalinin, G. E. Jellison, C. M. Rouleau and D. H. Lowndes: Appl. Phys. Lett., 2004, 84, 1350.
43. M. C. Johnson, R. J. Jorgenson, J. Wu, W. Shan and E. Bourret-Courchesne: J. Cryst. Growth, 2004, 261, 44.
44. C J. Taylor and S. Semancik: Chem. Mater., 2002, 14, 1671.
45. R. E. Cavicchi, S. Semancik, F. DiMeo and C. J. Taylor: J. Electroceram., 2003, 9, 155.
46. E. C. G. Kirk and M. G. Blamire: J. Appl. Phys., 1994, 75, 5171.
47. W. Kuch, L. I. Chelaru, F. Offi, J. Wang, M. Kotsugi and J. Kirschner: Nature Mater., 2006, 5, 128.
48. J. Unguris, R. J. Celotta and D. T. Pierce: Phys. Rev. Lett., 1991, 67, 140.
49. D. A. R. Barkhouse, A. Bonakdarpour, M. Fleischauer, T. D. Hatchard and J. R. Dahn: J. Magn. Magn. Mater., 2003, 261, 399.
50. J. R. Dahn, S. Trussler, T. D. Hatchard, A. Bonakdarpour, J. R. Mueller-Neuhaus, K. C. Hewitt and M. Fleischauer: Chem. Mater., 2002, 14, 3519.
51. J. W. A. Robinson, S. Piano, G. Burnell, C. Bell and M. G. Blamire: Phys. Rev. Lett., 2006, 97, 177003.
52. L. Capogna and M. G. Blamire: Phys. Rev. B, 1996, 53B, 5683.
53. J. Shi, Y. F. Lu, X. Y. Chen, R. S. Cherukuri, K. K. Mendu, H. Wang and N. Batta: Appl. Phys. Lett., 2005, 86, 131918.
54. Y. H. Hu, S. Y. Yin, G. H. Chen, Y. Y. Wu, X. M. Zhou, J. E. Zhou. Q. Wang and W. Zhang: Acta Phys. Sinica, 2004, 53, 2263.
55. S. Semancik: in 'Combinatorial materials synthesis', (ed. X.-D. Dong and T. Takeuchi), 263; 2003, New York, Marcel Dekker, Inc.
56. J. J. Hanak: J. Non-Cryst. Solids. 1985, 77/78, 773.
57. J. Kwo and T. H. Geballe: Phys. Rev. B. 1981, 23B, 3230.
58. S. Kyrsta, R. Cremer, D. Neuschutz, M. Laurenzis, P. H. Bolivar and H. Kurz: Thin Solid Films, 2001, 398/399, 379.
59. S. E. Russek, W. E. Bailey, G. Alers and D. L. Abraham: IEEE Trans. Magn., 2001, 37, 2156.
60. M. Prochaska, J. Jin, D. Rochefort, L. Zhuang, F. J. DiSalvo, H. D. Abruna and R. B. van Dover: Rev. Sci. Instrum., 2006, 77, 054104.
61. H. Koinuma, M. Kawasaki, T. Itoh, A. Ohtomo, M. Murakami, Z. W. Jin and Y. Matsumoto: Physica C. 2000, 335C, 245.
62. S. Pessaud, F. Gervais, C. Champeaux, P. Marchet, A. Catherinot, M. Licheron, J. L. Longuet and F. Ravel: Mater. Sci. Eng. B, 1999, B60, 205.
63. A. Rar, E. D. Specht, E. P. George, M. L. Santella and G. M. Pharr: J. Vac. Sci. Technol. A, 2004, 22A, 1788.
64. M. Black, J. Cooper and P. McGinn: Meas. Sci. Technol., 2005, 16, 174.
65. D. C. Johnson: Curr. Opin. Solid State Mater. Sci., 1998, 3, 159.
66. H. Chang, C. Gao, I. Takeuchi, Y. Yoo, J. Wang, P. G. Schultz, X. D. Xiang, R. P. Sharma, M. Downes and T. Venkatesan: Appl. Phys. Lett., 1998, 72, 2185.
67. R. Takahashi, H. Kubota, M. Murakami, Y. Yamamoto, Y. Matsumoto and H. Koinuma: J. Combinat. Chem., 2004, 6, 50.
68. M. M. Mohebi and J. R. G. Evans: J. Combinat. Chem., 2002, 4, 267.
69. K. Fujimoto. T. Kato, S. Ito, S. Inoue and M. Watanabe: Solid State Ionics, 2006, 177, 2639.
70. O. L. Warren and T. J. Wyrobek: Meas. Sci. Technol., 2005, 16, 100.
71. G. Briceño, H. Chang, X. Sun, P. G. Schultz and X.-D. Xiang: Science, 1995, 270, 273.
72. K. S. Chang, M. Aronova, O. Famodu, I. Takeuchi, S. E. Lolland, J. Hattrick-Simpers and H. Chang: Appl. Phys. Lett., 2001, 79, 4411.
73. I. Takeuchi, H. Chang, C. Gao, P. G. Schultz, X. D. Xiang, R. P. Sharma, M. J. Downes and T. Venkatesan: Appl. Phys. Lett., 1998, 73, 894.
74. D. Rende, K. Schwarz, U. Rabe, W. F. Maier and W. Arnold: Prog. Solid State Chem., 2007, 35, 361.
75. I. Takeuchi, W. Yang, K. S. Chang, M. A. Aronova, T. Venkatesan, R. D. Vispute and L. A. Bendersky: J. Appl. Phys., 2003, 94, 7336.
76. X. R. Zhao, N. Okazaki, Y. Konishi, A. Akahane, Z. Kuang, T. Ishibashi, K. Sato, H. Koinuma and T. Hasegawa: Appl. Surf. Sci., 2004, 223, 73.
77. T. Y. Kim, J. Nishimura, T. Fukumura, M. Kawasaki, T. Hasegawa, H. Koinuma, Y. Taguchi and Y. Tokura: Physica B. 2003, 329B, 1046.
78. Y. S. Chu, A. Tkachuk, S. Vogt, P. Ilinski, D. A. Walko, D. C. Mancini, E. M. Dufresne, L. He and F. Tsui: Appl. Surf. Sci., 2004, 223, 175.
79. H. Eba and K. Sakurai: Appl. Surf. Sci., 2006, 252, 2608.
80. T. D. Hatchard, J. R. Dahn, S. Trussler, M. Fleischauer, A. Bonakdarpour, J. R. Mueller-Neuhaus and K. C. Hewitt: Thin Solid Films, 2003, 443, 144.
81. B. D. Cullity and S. R. Stock: 'Elements of X-ray diffraction'; 2001, Upper Saddle River, NJ. Prentice-Hall Inc.
82. Z. L. Luo, B. Geng, J. Bao, C. H. Liu, W. H. Liu, C. Gao, Z. G. Liu and X. L. Ding: Rev. Sci. Instrum., 2005, 76, 095105.
83. A. T. Macrander, S. Krasnicki, Y. C. Zhong, J. Maj and Y. S. Chu: Appl. Phys. Lett., 2005, 87, 194113.
84. M. Ohtani, T. Fukumura, M. Kawasaki, K. Omote, T. Kikuchi, J. Harada, A. Ohtomo, M. Lippmaa, T. Ohnishi, D. Komiyama, R. Takahashi, Y. Matsumoto and H. Koinuma: Appl. Phys. Lett., 2001, 79, 3594.
85. T. Ohnishi, D. Komiyama, T. Koida, S. Ohashi, C. Stauter, H. Koinuma, A. Ohtomo, M. Lippmaa, N. Nakagawa, M. Kawasaki, T. Kikuchi and K. Omote: Appl. Phys. Lett., 2001, 79, 536.
86. T. Fukumura, M. Ohtani, M. Kawasaki, Y. Okimoto, T. Kageyama, T. Koida, T. Hasegawa. Y. Tokura and H. Koinuma: Appl. Phys. Lett., 2000, 77, 3426.
87. P. F. Fewster: J. Appl. Crystallogr., 2005, 38, 62-68.
88. E. D. Isaacs, M. Marcus, G. Aeppli, X. D. Xiang, X. D. Sun, P. Schultz, H. K. Kao, G. S. Cargill and R. Haushalter: Appl. Phys. Lett., 1998, 73, 1820.
89. P. Mikulik, D. Lubbert, D. Korytar. P. Pernot, and T. Baumbach: J. Phys. D, 2003, 36D, A74.
90. N. Tamura, A. A. MacDowell, R. S. Celestre, H. A. Padmore, B. Valek, J. C. Bravman, R. Spolenak, W. L. Brown, T. Marieb, H. Fujimoto. B. W. Batterman and J. R. Patel: Appl. Phys. Lett., 2002, 80, 3724.
91. R. E. Somekh, M. G. Blamire, Z. H. Barber, K. Butler, J. H. James. G. W. Morris, E. J. Tomlinson, A. P. Schwarzenberger, W. M. Stobbs and J. E. Evetts: Nature, 1987, 326, 857.