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Volumn 43-44, Issue PART 2, 1990, Pages 1024-1034

Characterization of a 1 kA vacuum arc plasma gun for use as a metal vapour deposition source

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EID: 50849145375     PISSN: 02578972     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/0257-8972(90)90041-A     Document Type: Article
Times cited : (7)

References (6)
  • 5
    • 84915922544 scopus 로고    scopus 로고
    • H. C. Miller, personal communication, February 12, 1990.


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.