CMOS-MEMS integration today and tomorrow

Scripta Materialia

Volumn 59, Issue 9, 2008, Pages 945-949

  Witvrouw, Ann ^a  

^a IMEC   (Belgium)

Author keywords

Compound semiconductors; Crystallization; Electrical properties; Mechanical properties

Indexed keywords

CHARGE COUPLED DEVICES; COMPOSITE MICROMECHANICS; ELECTROMECHANICAL DEVICES; GERMANIUM; INTEGRATION; LOGIC CIRCUITS; METALLIC COMPOUNDS; METALS; MICROELECTROMECHANICAL DEVICES; MOS DEVICES; NONMETALS; POLYSILICON; SEMICONDUCTING GERMANIUM COMPOUNDS; SEMICONDUCTING SILICON COMPOUNDS; SEMICONDUCTOR MATERIALS; SILICON; SILICON ALLOYS;

CMOS-MEMS; COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR; COMPOUND SEMICONDUCTORS; CRYSTALLIZATION; CURRENT STATE; ELECTRICAL PROPERTIES; MARKET TRENDS; MECHANICAL PROPERTIES; MICRO-ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS; POLY-CRYSTALLINE SILICON; POLY-SIGE; ROAD MAPS;

MEMS;

EID: 49949099264     PISSN: 13596462     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.scriptamat.2008.06.043     Document Type: Article

References (33)

1. Witvrouw A., Van Steenkiste F., Maes D., Haspeslagh L., Van Gerwen P., De Moor P., Sedky S., Van Hoof C., de Vries A.C., Verbist A., De Caussemaeker A., Parmentier B., and Baert K. Microsyst. Technol. 6 5 (2000) 192-199
2. Witvrouw A., Gromova M., Mehta A., Sedky S., De Moor P., Baert K., and Van Hoof C. MRS Proc. 782 (2004) 25-36
3. Van Hoof C., Baert K., and Witvrouw A. Science 304 (2004) 986-987
4. Howe R., et al. MRS Proc. 729 (2003) 205-231
5. J. Smith et al., in: Proc. IEDM, 1995, pp. 609-612.
6. S. Lewis, S. Alie, T. Brosnihan, C. Core, T. Core, R. Howe, J. Geen, D. Hollocher, M. Judy, J. Memishian, K. Nunan, R. Paine, S. Sherman, B. Tsang, B, Wachtmann, in: Proc. IEDM 1993, pp. 39.1.1-39.1.4.
7. Sedky S., Witvrouw A., and Baert K. Sensors Actuators A 97-98 (2002) 503-511
8. Franke A.E., Heck J.M., King T.-J., and Howe R.T. J. Microelectromech. Syst. 12 (2003) 160
9. A. Mehta, M. Gromova, C. Rusu, K. Baert, C. Van Hoof and A. Witvrouw, in: Proc. IEEE MEMS '04, 2004, pp. 721-724.
10. T.J. King et al., in: Proc. IEDM, 2002, pp. 199-202.
11. Gromova M., Baert K., Van Hoof C., Mehta A., and Witvrouw A. Microelectron. Eng. 76 (2004) 266-271
12. Sedky S., Gromova M., van der Donck T., Celis J.P., and Witvrouw A. Sensors Actuators A 127 2 (2006) 316-323
13. Rusu C., Sedky S., Parmentier B., Verbist A., Richard O., Brijs B., Geenen L., Witvrouw A., Lärmer F., Fischer F., Kronmüller S., Leca V., and Otter B. J. MEMS 12 6 (2003) 816-825
14. A. Mehta, M. Gromova, P. Czarnecki, K. Baert, A. Witvrouw, in: Proceedings of 13th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, vol. 2, 2005, pp. 1326-1329.
15. A. Witvrouw, A. Mehta, A. Verbist, B. Du Bois, S. Van Aerde, J. Ramos-Martos, J. Ceballos, A. Ragel, J.M. Mora, M.A. Lagos, A. Arias, J.M. Hinojosa, J. Spengler, C. Leinenbach, T. Fuchs, S. Kronmüller, in: Proc. ISSCC 2005, 2005, pp. 88-89.
16. Takeuchi H., Wung A., Sun X., Howe R.T., and King T.-J. IEEE Trans Electron. Dev. 52 9 (2005) 2081-2086
17. Rath J.K., et al. Solar Energy Mater. Solar Cells 74 (2002) 553-560
18. Muramatsu S., et al. Solar Energy Mater. Solar Cells 74 1-4 (2002) 275-281
19. S. Sedky, K. Baert, C. Van Hoof, Y. Wang, O. Van Der Biest, A. Witvrouw, in: Proc. MRS Spring Conf. 2004, vol. 808, p. A4.19.
20. S. Sedky, A. Witvrouw, in: Proc. MEMS 2005, pp. 487-490.
21. Sedky S., Bayoumy A., Alaa A., Nagy A., and Witvrouw A. JMEMS 16 3 (2007) 581-588
22. Available at: .
23. A. Schreurle, T. Fuchs, K. Kehr, C. Leinenbach, S. Kronmüller, A. Arias, J. Ceballos, M.A. Lagos, J.M. Mora, J.M. Muñoz, A. Ragel, J. Ramos, S. Van Aerde, J. Spengler, A. Mehta, A. Verbist, B. Du Bois, A. Witvrouw, in: Proc. IEEE MEMS 07, pp. 39-42.
24. M.Gromova, L. Haspeslagh, A.Verbist, B. Du Bois, R. Van Hoof, B. Eyckens, B. Sijmus, I. De Wolf, V. Simons, Ph. Muller, T. Lauwagie, M. Willegems, S. Locorotondo, W. Boullart, K. Baert, A. Witvrouw, in: Proc. IEEE MEMS 2007, pp. 759-762.
25. Stahl H., Hoechst A., Fischer F., Metzger L., Reichenbach R., Laermer F., Kronmueller S., Breitschwerdt K., Gunn R., Watcham S., Rusu C., and Witvrouw A. Proc. Transducers (2003) 1899
26. Hoechst A., Scheuerer R., Stahl H., Fischer F., Metzger L., Reichenbach R., Laermer F., Kronmueller S., Breitschwerdt K., Gunn R., Watcham S., Rusu C., and Witvrouw A. Sensors Actuators 114 2-3 (2004) 355-361
27. Rusu C., Jansen H., Gunn R., and Witvrouw A. Microsyst. Technol. 10 (2004) 364-371
28. M. Gromova, K. Verheyen, P. Fiorini and A. Witvrouw, in: Proc. Eurosensors 2006, pp. 236-237.
29. S. Lenci, P. Gonzalez, K. De Meyer, R, Van Hoof, D. Frederickx, A. Witvrouw, in: Proc. IEEE MEMS 2008, pp. 427-430.
30. Solid State Technology Online, September 12, 2007.
31. MEMSentry, The Exclusive Yole Bulletin on MEMS, issue 2, January '06, p. 2.
32. Available at: .
33. IWT-SBO project "GEMINI" ("Generic Electronics and Microsystems INtegration Initiative"), IWT-nr 60046, 2007-2011.