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Volumn 6705, Issue , 2007, Pages

The new ESRF multilayer deposition facility

Author keywords

Sputter deposition; X ray multilayers; X ray optics

Indexed keywords

COATINGS; DEPOSITION; FERROMAGNETIC MATERIALS; MAGNETRON SPUTTERING; STABILITY; SYNCHROTRON RADIATION;

EID: 42149161886     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.734107     Document Type: Conference Paper
Times cited : (32)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.