Rapid prototyping in microsystems technology

International Journal of Product Development

Volumn 1, Issue 2, 2004, Pages 155-164

  Heinzl, Joachim ^a   Paspa, Robert ^a  

^a TECHNICAL UNIVERSITY OF MUNICH   (Germany)

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drop ejection; laser ablation; MEMS, silicon etching; micro fluid systems

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EID: 38049080834     PISSN: 14779056     EISSN: 17418178     Source Type: Journal    
DOI: 10.1504/IJPD.2004.005711     Document Type: Article

References (5)

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