Machining of silica glasses using excimer laser radiation

Glass Science and Technology: Glastechnische Berichte

Volumn 69, Issue 2, 1996, Pages 44-49

  Hornberger, Helga ^a,c   Weißmann, Rudolf ^a   Lutz, Norbert ^b,d  

^a UNIVERSITY OF ERLANGEN NUREMBERG   (Germany)

^b Bayerisches Laserzentrum GmbH (Blz)   (Germany)

^c UNIVERSITY OF BIRMINGHAM   (United Kingdom)

^d BLZ Bayerisches Laserzentrum   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 3743134078     PISSN: 09467475     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (18)

1. Laser cutting technology aids the car lamp industry. Glass Int. 57 (1980) no. 9, p. 69.
2. Kahlert, H. J.; Rebhan, U.; Basting, D.: Zuverlässige Industrieexcimerlaser für die Mikroelektronik. Laser-Optoelektron. 22 (1990) no. 4, p. 48-54.
3. Braren, B.; Srinivasan, R.: Controlled etching of silicate glasses by pulsed ultraviolet laser radiation. J. Vac. Sci. Technol. B 6 (1988) no. 3/4, p. 537-547.
4. Buerhop, C.: Glasbearbeitung mit Hochleistungslasern. Univ. Erlangen-Nürnberg, Erlangen, Diss. 1994.
5. Nowak, R.; Metev, S.; Sepold, G. et al.: Excimer laser processing of BK7 and BGG31 glasses. Glastech. Ber. 66 (1993) no. 9, p. 227-233.
6. 2 by photoinjection and photoconductivity measurements. Solid State Commun. 9 (1971) p. 2259-2261.
7. Allmen, M. v.: Laser beam interactions with materials. Berlin, Heidelberg: Springer, 1987.
8. Dressel, M.; Neu, W.; Gerhardt, H.: Quarzglasfasern für die Übertragung von Excimerlaserpulsen hoher Leistung. Laser-Optoelektron. 22 (1990) no. 5, p. 76-81.
9. Taylor, R. S.; Leopold, K. E.; Brimacombe, R. K. et al.: Dependence of the damage and transmission properties of fused silica fibers on the excimer laser wavelength. Appl. Opt. 27 (1988) no. 15, p. 3124-3133.
10. Arai, K.; Imai, H.; Hosono, H. et al.: Two-photon processes in defect formation by excimer lasers in synthetic silica glass. Appl. Phys. Lett. 53 (1988) no. 11, p. 1891-1893.
11. Imai, H.: Arai, K.; Imagawa, H. et al.: Two types of oxygen-deficient centers in synthetic silica glass. Phys. Rev. B 38 (1988) no. 17, p. 12772-12775.
12. Reif, J.; Petzoldt, S.; Matthias, E.: Der akustische Mirage-Effekt, eine Methode zur Messung von Laser-Zerstörungsschwellen. Laser-Optoelektron. 21 (1989) no. 4, p. 36-40.
13. Brückner, R.: Properties and structure of vitreous silica. I. J. Non-Cryst. Solids 5 (1970/71) p. 123-175.
14. Wehner, M.: Werkstoffbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung. RWTH Aachen, Diss. 1991. Aachen: Verl. Augustinus-Buchhandlung 1991. (Aachener Beiträge zur Lasertechnik. Bd. 3.)
15. Schmatjko, K. J.; Endres, G.: Projection structuring of ceramics by excimer laser radiation. In: Waidelich, W. (ed.): Laser-Optoelektronik in der Technik (Laser '87). Berlin: Springer, 1988. p. 573-576.
16. 2 lasers. Appl. Surf. Sci. 46 (1990) p. 430-434.
17. Rothschild, M.; Ehrlich, D. J.; Shaver, D. C.: Excimer laser induced damage in fused silica. Microelectron. Eng. 11 (1990) no. 11, p. 167-172.
18. Ihlemann, J.: Excimer laser ablation of fused silica. Appl. Surf. Sci. 54 (1992) p. 193-200.