Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMS-Strukturen: Aufbau eines Hochwertigen Messplatzes mit Begrenzten Mitteln

VDI Berichte

Volumn , Issue 1981, 2007, Pages 259-269

  Staab, Matthias ^a   Eicher, Dirk ^a   Schlaak, Helmut F ^a  

^a DARMSTADT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 37149051492     PISSN: 00835560     EISSN: None     Source Type: Book Series    
DOI: None     Document Type: Article

References (7)

1. Völklein, F.; Zetterer, T.: Praxiswissen Mikrosystemtechnik. 2. Auflage. Wiesbaden: Vieweg 2006
2. Eicher, D.; Schlaak, H. F.: Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben, Mikrosystemtechnik-Kongress, 16.-18.10.2007, Dresden, VDE-Verlag, 2007
3. Bildverarbeitung, http://www.polytec.com/ger/files/BV-Kat-2003.pdf, Polytec, Oktober 2003
4. Baeyens, T.: Aus der Nische in die Breite, CMOS-Bildsensoren erobern das ganze Spektrum von Consumer über IBV bis Automotive. Elektronik 15 (2006), S. 78-83
5. Nl Vision - Nl Vision Concepts Manual, http://www.ni.com/pdf/manuals/ 372916e.pdf National Instruments, November 2005
6. Staab, M.: Aufbau eines Motion-Analyzers zur Charakterisierung von MEMSStrukturen, Diplomarbeit, TU Darmstadt, 2007
7. Werthschützky, R.; Sindlinger, St.: Mess- und Sensortechnik Band I: Elektrisches Messen mechanischer Größen. Darmstadt: Institut EMK. 2004