Epitaxial aluminum nitride tunnel barriers grown by nitridation with a plasma source

Applied Physics Letters

Volumn 91, Issue 23, 2007, Pages

  Zijlstra, T ^a   Lodewijk, C F J ^a   Vercruyssen, N ^a   Tichelaar, F D ^a   Loudkov, D N ^a   Klapwijk, T M ^a  

^a DELFT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CURRENT VOLTAGE CHARACTERISTICS; NITRIDATION; POLYCRYSTALLINE MATERIALS; SEMICONDUCTOR INSULATOR BOUNDARIES; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; TUNNEL JUNCTIONS;

ALUMINUM NITRIDE BARRIERS; TRANSMISSIVITY; TUNNEL BARRIERS;

EPITAXIAL FILMS;

EID: 36849068814     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2819532     Document Type: Article

References (20)

1. M. Gurvitch, M. A. Washington, and H. A. Huggins, Appl. Phys. Lett. 42, 472 (1983).
2. S. S. P. Parkin, C. Kaiser, A. Panchula, P. M. Rice, B. Hughes, M. Samant, and S.-H. Yang, Nat. Mater. 3, 862 (2004).
3. S. Yuasa, T. Nagahama, A. Fukushima, Y. Suzuki, and K. Ando, Nat. Mater. 3, 868 (2004).
4. S. Oh, K. Cicak, R. McDermott, K. B. Cooper, K. D. Osborn, R. W. Simmonds, M. Steffen, and D. P. Pappas, Solid State Commun. 18, 1396 (2005).
5. S. Oh, K. Cicak, J. S. Kline, M. A. Sillanpää, K. D. Osborn, J. D. Whittaker, R. W. Simmonds, and D. P. Pappas, Phys. Rev. B 74, 100502 (2006).
6. J. Kawamura, D. Miller, J. Chen, J. Zmuidzinas, B. Bumble, H. G. LeDuc, and J. A. Stern, Appl. Phys. Lett. 76, 2119 (2000).
7. F. Giazotto, T. T. Heikkila, A. Luukanen, A. M. Savin, and J. P. Pekola, Rev. Mod. Phys. 78, 217 (2006).
8. K. Tsunekawa, D. D. Djayaprawira, S. Yuasa, M. Nagai, H. Maehara, S. Yamagata, E. Okada, N. Watanabe, Y. Suzuki, and K. Ando, IEEE Trans. Magn. 42, 103 (2006).
9. W. H. Rippard, A. C. Perrella, F. J. Albert, and R. A. Buhrman, Phys. Rev. Lett. 88, 046805 (2002).
10. K. M. Lang, D. A. Hite, R. W. Simmonds, R. McDermott, D. P. Pappas, and J. M. Martinis, Rev. Sci. Instrum. 75, 2726 (2004).
11. K. M. Schep and G. E. W. Bauer, Phys. Rev. Lett. 78, 3015 (1997).
12. Y. Naveh, V. Patel, D. V. Averin, K. K. Likharev, and J. E. Lukens, Phys. Rev. Lett. 85, 5404 (2000).
13. E. Scheer, P. Joyez, D. Esteve, C. Urbina, and M. H. Devoret, Phys. Rev. Lett. 78, 3535 (1997).
14. R. E. Miller, W. H. Mallison, A. W. Kleinsasser, K. A. Delin, and E. M. Macedo, Appl. Phys. Lett. 63, 1423 (1993).
15. M. Weiler, K. Lang, E. Li, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 72, 1314 (1998).
16. T. Shiota, T. Imamura, and S. Hasuo, Appl. Phys. Lett. 61, 1228 (1992).
17. Z. Wang, A. Kawakami, and Y. Uzawa, Appl. Phys. Lett. 70, 114 (1997).
18. B. Bumble, H. G. LeDuc, J. A. Stern, and K. G. Megerian, IEEE Trans. Appl. Supercond. 11, 76 (2001).
19. A. B. Kaul, A. W. Kleinsasser, B. Bumble, H. G. LeDuc, and K. A. Lee, J. Mater. Res. 20, 3047 (2005).
20. N. N. Iosad, A. B. Ermakov, F. E. Meijer, B. D. Jackson, and T. M. Klapwijk, Supercond. Sci. Technol. 15, 945 (2002).