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Volumn , Issue , 1995, Pages 2810-

Growth of fluorocarbon polymer thin films with high CF2 fractions and low dangling bond concentrations by thermal chemical vapor deposition

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EID: 36449007352     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116332     Document Type: Article
Times cited : (8)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.