Reference-free total reflection X-ray fluorescence analysis of semiconductor surfaces with synchrotron radiation

Analytical Chemistry

Volumn 79, Issue 20, 2007, Pages 7873-7882

  Beckhoff, Burkhard ^a   Fliegauf, Rolf ^a   Kolbe, Michael ^a   Müller, Matthias ^a   Weser, Jan ^a   Ulm, Gerhard ^a  

^a PHYSIKALISCH TECHNISCHE BUNDESANSTALT   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTROSTATICS; ENERGY DISPERSIVE X RAY ANALYSIS; FLUORESCENCE; SYNCHROTRON RADIATION;

IRRADIATION CHAMBERS; UNDULATOR RADIATION; X RAY FLUORESCENCE ANALYSIS;

SEMICONDUCTOR MATERIALS;

LITHIUM; SILICON;

ARTICLE; DIODE; ELECTRON BEAM; SEMICONDUCTOR; SURFACE PROPERTY; SYNCHROTRON RADIATION; TOTAL REFLECTION X RAY FLUORESCENCE ANALYSIS; X RAY FLUORESCENCE;

EID: 35448992563     PISSN: 00032700     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ac071236p     Document Type: Article

References (56)

1. Klockenkämper, R. Total-Reflection X-Ray Fluorescence Analysis; John Wiley and Sons Inc.: New York, 1997
2. Pianetta, P.; Takaura, N.; Brennan, S.; Tompkins, W.; Laderman, S. S.; Fischer-Colbrie, A.; Shimazaki, A.; Miyazaki, K.; Madden, M.; Wherry, D. C.; Kortright, J. B. Rev. Sci. Instrum. 1995, 66, 1293.
3. Comin, F.; Navizet, M.; Mangiagalli, P.; Apostolo, G. Nucl. Instrum. Methods, B 1999, 150, 538.
4. Streli, C.; Wobrauschek, P.; Kregsamer, P.; Pepponi, G.; Pianetta, P.; Pahlke, S.; Fabry, L. Spectrochim. Acta, Part B 2001, 56, 2085.
5. Mori, Y.; Uemura, K.; Iizuka, Y. Anal. Chem. 2002, 74, 1104.
6. Sakurai, K.; Eba, H.; Inoue, K.; Yagi, N. Anal. Chem. 2002, 74, 4532.
7. Pahlke, S. Spectrochim. Acta, Part B 2003, 58, 2025.
8. Streli, C.; Wobrauschek, P.; Fabry, L.; Pahlke, S.; Comin, F.; Barett, R.; Pianetta, P.; Lüning, K.; Beckhoff, B. Total-Reflection X-Ray Fluorescence (TXRF) Wafer Analysis. In Handbook of Practical X-Ray Fluorescence Analysis; Beckhoff, B., Kanngiesser, B., Langhoff, N., Wedell, R., Wolff, H., Eds.; Springer: Berlin, 2006; pp 498-553.
9. Hellin, D.; De Gendt, S.; Valckx, N.; Mertens, P. W.; Vinckier, C. Spectrochim. Acta, Part B 2006, 61, 496.
10. Klockenkämper, R. Spectrochim. Acta, Part B 2006, 61, 1082.
11. Streli, C.; Wobrauschek, P.; Beckhoff, B.; Ulm, G.; Fabry, L.; Pahlke, S. X-Ray Spectrom. 2001, 30, 24.
12. Beckhoff, B.; Fliegauf, R.; Ulm, G.; Pepponi, G.; Streli, C.; Wobrauschek, P.; Fabry, L.; Pahlke, S. Spectrochim. Acta, Part B 2001, 56, 2073.
13. Streli, C.; Pepponi, G.; Wobrauschek, P.; Beckhoff, B.; Ulm, G.; Pahlke, S.; Fabry, L.; Ehmann, Th.; Kanngiesser, B.; Malzer, W.; Jark, W. Spectrochim. Acta, Part B 2003, 58, 2113.
14. Beckhoff, B.; Fliegauf, R.; Ulm, G.; Weser, J.; Pepponi, G.; Streli, C.; Wobrauschek, P.; Ehmann, T.; Fabry, L.; Mantler, C.; Pahlke, S.; Kanngiesser, B.; Malzer, W. Proc. Electrochem. Soc. 2003, 2003-03, 120.
15. Beckhoff, B.; Ulm, G. Adv. X-Ray Anal. 2001, 44, 349.
16. Kawahara, N.; Shoji, T.; Yamada, T.; Kataoka, Y.; Beckhoff, B.; Ulm, G.; Mantler, M. Adv. X-Ray Anal. 2002, 45, 511.
17. Kolbe, M.; Beckhoff, B.; Krumrey, M.; Ulm, G. Spectrochim. Acta, Part B 2005, 60, 505.
18. Müller, M.; Beckhoff, B.; Ulm, G.; Kanngiesser, B. Phys. Rev. A 2006, 74, 012702.
19. Zarkadas, C.; Karydas, A.; Müller, M.; Beckhoff, B. Spectrochim. Acta, Part B 2006, 61, 189.
20. Senf, F.; Flechsig, U.; Eggenstein, F.; Gudat, W.; Klein, R.; Rabus, H.; Ulm, G. J. Synchrotron Radiat. 1998, 5, 780.
21. Scholze, F.; Beckhoff, B.; Brandt, G.; Fliegauf, R.; Klein, R.; Meyer, B.; Rost, D.; Schmitz, D.; Veldkamp, M.; Weser, J.; Ulm, G.; Louis, E.; Yakshin, A. E.; Oestreich, S.; Bijkerk, F. Proc. SPIE 2000, 4146, 72.
22. Beckhoff, B.; Klein, R.; Krumrey, M.; Scholze, F.; Thornagel, R.; Ulm, G. Nucl. Instrum. Methods, A 2000, 444, 480.
23. Kalkowski, G.; Risse, S.; Guyenot, V. Microelectron. Eng. 2002, 61-62, 357.
24. Beckhoff, B.; Fliegauf, R.; Ulm, G. Spectrochim. Acta, Part B 2003, 58, 615.
25. Bechstein, S.; Beckhoff, B.; Fliegauf, R.; Weser, J.; Ulm, G. Spectrochim. Acta, Part B 2004, 59, 215.
26. Eggert, T.; Boslau, O.; Kemmer, J.; Pahlke, A.; Wiest, F. Nucl. Instrum. Methods, A 2006, 568, 1.
27. Scholze, F.; Procop, M. X-Ray Spectrom. 2001, 30, 69.
28. Krumrey, M.; Gerlach, M.; Scholze, F.; Ulm, G. Nucl. Instrum. Methods, A 2006, 568, 364.
29. Baur, K.; Kerner, J.; Brennan, S.; Singh, A.; Pianetta, P. J. Appl. Phys. 2000, 88, 4642.
30. Stöhr, J. NEXAFS Spectroscopy; Springer Series in Surface Sciences 25; Springer-Verlag: Berlin, 1992.
31. Drube, W.; Treusch, R.; Sham, T. K.; Bzowski, A.; Soldatov, A. V. Phys. Rev. B 1998, 58, 6871.
32. Soldatov, A. V.; Kasrai, M.; Bancroft, G. M. Solid State Commun. 2000, 115, 687.
33. Rehr, J. J.; Albers, R. C. Rev. Mod. Phys. 2000, 72, 621.
34. de Groot, F. Chem. Rev. 2001, 101, 1779.
35. de Groot, F. Coord. Chem. Rev. 2005, 249, 31.
36. Rehr, J. J. Radiat. Phys. Chem. 2006, 75, 1547.
37. Pepponi, G.; Beckhoff, B.; Ehmann, T.; Ulm, G.; Streli, C.; Fabry, L.; Pahlke, S.; Wobrauschek, P. Spectrochim. Acta, Part B 2003, 58, 2245.
38. Török, S.; Osan, J.; Beckhoff, B.; Ulm, G. Powder Diffr. J. 2004, 19, 81.
39. Osan, J.; Török, S.; Beckhoff, B.; Ulm, G.; Hwang, H.; Ro, C.-U.; Abete, C.; Fuoco, R. Atmos. Environm. 2006, 40, 4691.
40. Hoffmann, P.; Baake, O.; Beckhoff, B.; Ensinger, W.; Fainer, N.; Klein, A.; Kosinova, M.; Pollakowski, B.; Trunova, V.; Ulm, G.; Weser, J. Nucl. Instrum. Methods, A 2007, 575, 78.
41. Bambynek, W.; Crasemann, B.; Fink, R. W.; Freund, H.-U.; Mark, H.; Swift, C. D.; Price, R. E.; Venugopala, Rao, P. Rev. Mod. Phys. 1972, 44, 716.
42. Krause, M. O.; Nestor, C. W.; Sparks, C. J.; Ricci, E. Oak Ridge National Laboratory (ORNL) report no. 5399, 1978.
43. Saloman, E. B.; Hubbell, J. H.; Scofield, J. H. At. Data Nucl. Data Tables 1988, 38, 1.
44. Henke, B. L.; Gullikson, E. M.; Davis, J. C. At. Data Nucl. Data Tables 1993, 54, 181.
45. Chantler, C. T. J. Phys. Chem. Ref. Data 2000, 29, 597.
46. Elam, W. T.; Ravel, B. D.; Sieber, J. R. Radiat. Phys. Chem. 2002, 63, 121.
47. Ebel, H.; Svagera, R.; Ebel, M. F.; Shaltout, A.; Hubbell, J. H. X-Ray Spectrom. 2003, 32, 442.
48. Brunetti, A.; Sanchez del Rio, M.; Golosio, B.; Simionovici, A.; Somogyi, A. Spectrochim. Acta, Part B 2004, 59, 1725.
49. Shaltout, A.; Ebel, H.; Svagera, R. X-Ray Spectrom. 2006, 35, 52.
50. Zschornack, G. H. Handbook of X-Ray Data; Springer: New York, 2007
51. Mantler, M.; Willis, J. P.; Lachance, G. R.; Vrebos, B. A. R.; Mauser, K.-E.; Kawahara, N.; Rousseau, R. M.; Brouwer, P. N. Quantitative Analysis. In Handbook of Practical X-Ray Fluorescence Analysis; Beckhoff, B., Kanngiesser, B., Langhoff, N., Wedell, R., Wolff, H., Eds.; Springer: Berlin, 2006; pp 309-410.
52. Windt, D. Comput. Phys. 1998, 12, 360.
53. Scholze, F.; Beckhoff, B.; Kolbe, M.; Krumrey, M.; Müller, M.; Ulm, G. Microchim. Acta 2006, 155, 275.
54. Ebel, H. X-Ray Spectrom. 1999, 28, 255.
55. Ebel, H. X-Ray Spectrom. 2003, 32, 46.
56. Graessle, D. E.; Soufli, R.; Aquila, A. L.; Gullikson, E. M.; Blake, R. L.; Burek, A J. Proc. SPIE 2004, 5165, 469.