-
2
-
-
0028459519
-
-
C. Darraud, B. Bennamane, C. Gagnadre, J. L. Decossas, J. C. Vareille, and J. Stejny, Appl. Opt. 38, 3338 (1994).
-
(1994)
Appl. Opt
, vol.38
, pp. 3338
-
-
Darraud, C.1
Bennamane, B.2
Gagnadre, C.3
Decossas, J.L.4
Vareille, J.C.5
Stejny, J.6
-
3
-
-
0035127155
-
-
W. Hong, H.-J. Woo, H.-W. Choi, Y.-S. Kim, and G.-D. Kim, Appl. Surf. Sci. 169-170, 428 (2001).
-
(2001)
Appl. Surf. Sci
, vol.169-170
, pp. 428
-
-
Hong, W.1
Woo, H.-J.2
Choi, H.-W.3
Kim, Y.-S.4
Kim, G.-D.5
-
4
-
-
0041473911
-
-
T. C. Sum, A. A. Bettiol, H. L. Seng, I. Rajta, J. A. van Kan, and F. Watt, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 210, 266 (2003).
-
(2003)
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
, vol.210
, pp. 266
-
-
Sum, T.C.1
Bettiol, A.A.2
Seng, H.L.3
Rajta, I.4
van Kan, J.A.5
Watt, F.6
-
5
-
-
36549094987
-
-
J. R. Kulisch, H. Franke, A. Singh, R. A. Lessard, and E. J. Knystautas, J. Appl. Phys. 63, 2517 (1988).
-
(1988)
J. Appl. Phys
, vol.63
, pp. 2517
-
-
Kulisch, J.R.1
Franke, H.2
Singh, A.3
Lessard, R.A.4
Knystautas, E.J.5
-
6
-
-
0014800530
-
-
W. J. Tomlinson, I. P. Kaminow, E. A. Chandross, R. L. Fork, and W. T. Silfvast, Appl. Phys. Lett. 16, 486 (1970).
-
(1970)
Appl. Phys. Lett
, vol.16
, pp. 486
-
-
Tomlinson, W.J.1
Kaminow, I.P.2
Chandross, E.A.3
Fork, R.L.4
Silfvast, W.T.5
-
8
-
-
33746558666
-
-
P. Henzi, K. Bade, D. G. Rabus, and J. Mohr, J. Vac. Sci. Technol. B 24, 1755 (2006).
-
(2006)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.24
, pp. 1755
-
-
Henzi, P.1
Bade, K.2
Rabus, D.G.3
Mohr, J.4
-
9
-
-
0036649353
-
-
M. Zhou, Opt. Eng. 41, 1631 (2002).
-
(2002)
Opt. Eng
, vol.41
, pp. 1631
-
-
Zhou, M.1
-
10
-
-
58849087017
-
-
SPIE
-
A. Schösser, B. Knödler, T. Tschudi, W. F. X. Frank, A. Stelmaszyk, D. Mushert, D. Rück, S. Brunner, F. Pozzi, M. Morasca, and C. de Bernardi, in Proc. SPIE 2540, 110 (1995).
-
(1995)
in Proc
, vol.2540
, pp. 110
-
-
Schösser, A.1
Knödler, B.2
Tschudi, T.3
Frank, W.F.X.4
Stelmaszyk, A.5
Mushert, D.6
Rück, D.7
Brunner, S.8
Pozzi, F.9
Morasca, M.10
de Bernardi, C.11
-
11
-
-
17544393510
-
-
S. Brunner, D. M. Rück, T. Tinschert, W. F. X. Frank, and B. Knödler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 107, 333 (1996).
-
(1996)
Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B
, vol.107
, pp. 333
-
-
Brunner, S.1
Rück, D.M.2
Tinschert, T.3
Frank, W.F.X.4
Knödler, B.5
-
13
-
-
33645652831
-
-
Y. Ichihashi, P. Henzi, M. Bruendel, D. G. Rabus, and J. Mohr, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 2572 (2006).
-
(2006)
Jpn. J. Appl. Phys
, vol.45
, pp. 2572
-
-
Ichihashi, Y.1
Henzi, P.2
Bruendel, M.3
Rabus, D.G.4
Mohr, J.5
-
14
-
-
33747646242
-
-
Y. Ichihashi, P. Henzi, M. Bruendel, D. G. Rabus, and J. Mohr, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6654 (2006).
-
(2006)
Jpn. J. Appl. Phys
, vol.45
, pp. 6654
-
-
Ichihashi, Y.1
Henzi, P.2
Bruendel, M.3
Rabus, D.G.4
Mohr, J.5
-
15
-
-
0026850170
-
-
D. M. Rück, S. Brunner, W. Frank, J. Kulisch, and H. Franke, Surf. Coat. Technol. 51, 318 (1992).
-
(1992)
Surf. Coat. Technol
, vol.51
, pp. 318
-
-
Rück, D.M.1
Brunner, S.2
Frank, W.3
Kulisch, J.4
Franke, H.5
|