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Volumn 3, Issue 8, 2006, Pages 63-67

Analysis of the hump characteristics in poly-Si thin film transistor

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DRY ETCHING; GATES (TRANSISTOR); POLYSILICON; PRODUCT DESIGN;

EID: 33846977765     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.2356335     Document Type: Conference Paper
Times cited : (7)

References (3)
  • 1
    • 33846974708 scopus 로고    scopus 로고
    • N. Shigo, S. Fukuda, T. Wada, K. Hieda, Jpn J. Appl Phys., 39, p.2136 (2000).
    • N. Shigo, S. Fukuda, T. Wada, K. Hieda, Jpn J. Appl Phys., 39, p.2136 (2000).


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.