GaN Film Growth Using Single-Source Precursors

Chemistry of Materials

Volumn 7, Issue 3, 1995, Pages 546-552

  Lakhotia, Vikas ^a   Neumayer, Deborah A ^a   Cowley, A H ^a   Jones, R A ^a   Ekerdt, J G ^a  

^a UNIVERSITY OF TEXAS AT AUSTIN   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 33751156434     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm00051a016     Document Type: Article

References (55)

1. Lang, J.; Laurent, Y.; Maunaye, M.; Marchand, R. Prog. Cryst. Growth Charact. 1979, 2, 207.
2. Morkoc, H.; Strite, S.; Gao, G. B.; Lin, M. E.; Sverdlov, B.; Burns, B. J. Appl. Phys. 1994, 76, 1363.
3. Pankove, I. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1987, 97, 409.
4. Davis, R. F.; Sitar, Z.; Williams, B. E.; Kong, H. S.; Kim, H. J.; Palmour, J. W.; Edmond, J. A.; Ryu, J.; Glass, J. T.; Carter, C. H., Jr. Mater. Sci. Eng. B. 1988, 1, 77.
5. Davis, R. F. Proc. IEEE 1991, 79, 702.
6. Khan, M. A.; Skogman, R. A.; Van Hove, J. M.; Olson, D. T.; Kuznia, J. N. Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 1366.
7. Lei, T.; Moustakas, T. D.; Graham, R. J.; He, Y.; Berkowitz, S. J. J. Appl. Phys. 1992, 71, 4933.
8. Strite, S.; Lin, M. E.; Morkoc, H. Thin Solid Films 1993, 231, 197.
9. Strite, S.; Morkoc, H. J. Vac. Sci. Technol. B. 1992, 10, 1237.
10. Strite, S.; Mui, D. S. L.; Martin, G.; Li, Z.; Smith, D. J.; Morkoc, H. In Int. Symp. GaAs and Related Compounds’, Seattle, 1991; p 89.
11. Karpinski, J.; Jun, J.; Porowski, S. J. Cryst. Growth 1984, 66, I. Maruska, H. P.; Tietjen, J. J. J. Solid State Commun. 1969, 15, 327.
12. Pankove, J. I.; Berkeyheiser, J. E.; Maruska, H. P.; Wittke, J. J. Solid State Commun. 1970, 8, 1051.
13. Seifert, W.; Tempel, A. Phys. Status Solidi A. 1974, 23, K39.
14. Fremunt, R.; Cerny, P.; Kohout, J.; Rosicka, V.; Burger, A. Cryst. Res. Technol. 1981, 16, 1257.
15. Naniwae, K.; Itoh, S.; Amano, H.; Itoh, K.; Hiramatsu, K.; Akasaki, I. J. Cryst. Growth 1990, 99, 381.
16. Madar, R.; Jacob, G.; Hallais, J.; Fruchart, R. J. Cryst. Growth 1975, 31, 197.
17. Knights, J. C.; Lujan, R. A. J. Appl. Phys. 1984, 56, 2367.
18. Hashimoto, M.; Amano, H.; Sawaki, N.; Aksasoki, I. J. Cryst. Growth 1984, 68, 163.
19. Khan, M. A.; Skogman, R. A.; Schulze, R. G.; Gershenzon, M. Appl. Phys. Lett. 1983, 42, 430.
20. Gillesen, K.; Schuller, K. H.; Sturck, B. Mater. Res. Bull. 1977, 12, 955.
21. Crouch, R. K.; Debnam, W. J.; Fripp, A. L. J. Mater. Sci. 1978, 13, 2358.
22. Zembutsu, S.; Sasaki, T. Appl. Phys. Lett. 1986, 48, 870.
23. Nakamura, S. Jpn. J. Appl. Phys. 1991, 30, L1705.
24. Gotoh, H.; Suga, T.; Suzuki, H.; Kimata, M. Jpn. J. Appl. Phys. 1981, 20, L545.
25. Paisley, M. J.; Sitar, Z.; Posthill, J. B.; Davis, R. F. J. Vac. Sci. Technol. A. 1989, 7, 701.
26. Lei, T.; Fanciulli, M.; Molnar, R. J.; Moustakas, T. D.; Graham, R. J.; Scanlon, J. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 944.
27. Fujieda, S.; Mizuta, M.; Matsumoto, S. Jpn. J. Appl. Phys. 1987, 26, 2067.
28. Gaskill, D. K.; Bottka, N.; Lin, M. C. J. Cryst. Growth 1986, 77, 418.
29. Okumura, H.; Yoshida, S.; Misawa, S.; Sakuna, E. J. Cryst. Growth 1992, 120, 114.
30. Andrews, J. E.; Littlejohn, M. A. J. Electrochem. Soc. 1975, 122, 1273.
31. Kouvetakis, J.; Beach, D. B. Chem. Mater. 1989, 1, 476. (33) Ho, K. L.; Jensen, K. F.; Hwang, J. W.; Evans, J. F.; Gladfelter, W. L. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1991, 204, 101.
32. Gordon, R. G.; Hoffman, D. M.; Riaz, U. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1991, 204, 95.
33. Scriven, E. F. V., Ed. Azides and Nitrenes: Reactivity and Utility, Academic Press: Orlando, FL, 1984.
34. Bertrand, G.; Majoral, J. P.; Baceiredo, A. Acc. Chem. Res. 1986, 19, 17.
35. Miller, J. E.; Ekerdt, J. G. Chem. Mater. 1992, 4, 7.
36. Lakhotia, V.; Heitzinger, J. M.; Cowley, A. H.; Jones, R. A.; Ekerdt, J. G. Chem. Mater. 1994, 6, 871.
37. Atwood, D. A.; Jones, R. A.; Cowley, A. H.; Atwood, J. L.; Bott, S. G. J. Organomet. Chem. 1990, 394, C6.
38. Neumayer, D. A.; Cowley, A. H.; Jones, R. A., manuscript in preparation.
39. Miller, J. E.; Mardones, M. A.; Nail, J. W.; Cowley, A. H.; Jones, R. A.; Ekerdt, J. G. Chem. Mater. 1992, 4, 447.
40. Saito, J.; Nanbu, K.; Ishikawa, T.; Kondo, K. J. Appl. Phys. 1988, 63, 404.
41. Okumura, H.; Misawa, S.; Yoshida, S. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 1058.
42. Martin, G.; Strite, S.; Thornton, J.; Morkoc, H. Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 2375.
43. Cullity, B. D. Elements of X-ray diffraction-, Addison-Wesley Publishing Co.: Reading, PA, 1967.
44. Lei, T.; Ludwig, K. F.; Moustakas, T. D. J. Appl. Phys. 1993, 74, 4430.
45. Moustakas, T. D.; Molnar, R. J.; Lei, T.; Menon, G.; Eddy, C. R., Jr. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1992, 242, 427.
46. Amano, H.; Sawaki, N.; Akasaki, I.; Toyoda, Y. Appl. Phys. Lett. 1986, 48, 353.
47. Rengarajan, R. M.S. Thesis, University of Texas at Austin, 1994.
48. Kuznia, N.; Khan, M. A.; Olson, D. T. J. Appl. Phys. 1993, 73, 4700.
49. Wickenden, A. E.; Wickenden, D. K.; Kistenmacher, T. J. J. Appl. Phys. 1994, 75, 5367.
50. Chu, T. L. J. Electrochem. Soc. 1971, 118, 1199.
51. Ito, K.; Hiramatsu, H.; Amano, H.; Akasaki, I. J. Cryst. Growth 1990. 104, 503.
52. Yoshida, S.; Misawa, S.; Gonda, S. Appl. Phys. Lett. 1983, 42, 427.
53. Akasaki, I.; Amano, H.; Koide, Y.; Hiramatsu, K.; Sawaki, N. Appl. Phys. Lett. 1989, 60, 2421.
54. Abernathy, C. R.; Wisk, P. W.; Bohling, D. A.; Muhr, G. T. Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 2421.
55. Carin, R.; Deville, J. P.; Werckmann, J. Surf. Interface Anal. 1990, 16, 65.