Influence of housing to design and manufacturing of miniaturised pressure sensors for harsh environments;Einfluss der gehäusung auf den entwurf und die realisierung umweltrobuster, miniaturisierter drucksensoren

Technisches Messen

Volumn 71, Issue 4, 2004, Pages 240-248

  Sindlinger, Stefan ^a,b   Wohlgemuth, Christian ^a,b   Werthschützky, Roland ^a,b  

^a DARMSTADT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b Institut für EMK   (Germany)

Author keywords

Diaphragm; Differential pressure sensor; Flip chip; Galvanic deposition; MATCH X; Oilfilling; Piezoresistive

Indexed keywords

DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR; FLIP CHIP; GALVANIC DEPOSITION; MATCH-X; OILFILLING; PIEZO-RESISTIVE;

DIAPHRAGMS; HOUSING; SENSORS;

PRODUCT DESIGN;

EID: 33745857360     PISSN: 01718096     EISSN: 01718096     Source Type: Journal    
DOI: 10.1524/teme.71.4.240.30454     Document Type: Conference Paper

References (7)

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