Micro structuring of borosilicate glass by high-temperature micro-forming

Microsystem Technologies

Volumn 12, Issue 8, 2006, Pages 790-795

  Schubert, Andreas ^a   Edelmann, Jan ^a   Burkhardt, Thomas ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR MACHINE TOOLS AND FORMING TECHNOLOGY IWU   (Germany)

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GLASS BONDING; GLASS MANUFACTURE; HIGH TEMPERATURE OPERATIONS; MICROSTRUCTURE;

INDUSTRIAL MANUFACTURING; MICRO-FORMING; MICRO-STRUCTURED TOOL; MOLDED DEMONSTRATION STRUCTURE;

BOROSILICATE GLASS;

EID: 33744518018     PISSN: 09467076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s00542-005-0074-y     Document Type: Article

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