Film growth precursor development for metal nitrides. Synthesis, structure, and volatility of molybdenum(vi) and tungsten(vi) complexes containing bis(imido)metal fragments and various nitrogen donor ligands

Dalton Transactions

Volumn , Issue 16, 2006, Pages 1943-1953

  El Kadri, Oussama M ^a   Heeg, Mary Jane ^a   Winter, Charles H ^a  

^a WAYNE STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

COMPLEXATION; CRYSTAL STRUCTURE; FILM GROWTH; MOLECULAR STRUCTURE; MOLYBDENUM; NITROGEN; THERMODYNAMIC STABILITY; THIN FILMS; TUNGSTEN; X RAYS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION; LIGANDS; NEW COMPLEXES; VOLATILITY;

NITRIDES;

EID: 33744480543     PISSN: 14779226     EISSN: 14779234     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b515378f     Document Type: Article

References (63)

1. B. Roberts A. Harrus R. L. Jackson Solid State Technol. 1995 38 69
2. S. P. Murarka R. J. Gutmann A. E. Kaloyeros W. A. Lanford Thin Solid Films 1993 236 257
3. S.-Q. Wang MRS Bull. 1994 19 30
4. S.-Q. Wang I. Raaijmakers B. J. Burrow S. Suthar S. Redkar K.-B. Kim J. Appl. Phys. 1990 68 5176
5. C. H. Winter Aldrichimica Acta 2000 33 3
6. T. Oku E. Kawakami M. Uekubo K. Takahiro S. Yamaguchi M. Murakami Appl. Surf. Sci. 1996 99 265
7. S. V. Babu Y. Li A. Jindal JOM-J. Min. Met. Mater. Soc. 2001 52 50
8. S. Takahashi, K. Tai, H. Ohtorii, N. Komai, Y. Segawa, H. Horikoshi, H. Yasuda, M. Ishihara and T. Nogami, Symposium on VLSI Technology, Talk No. 4.1, Honolulu, Hawaii, June 10-13, 2002
9. M. J. Shaw S. Grunow D. J. Duquette J. Electron. Mater. 2001 30 1602
10. P. J. Pokela C.-K. Kwok E. Kolawa S. Raud M.-A. Nicolet Appl. Surf. Sci. 1991 53 364
11. H. Kim J. Vac. Sci. Technol., B 2003 21 2231
12. A. E. Kaloyeros E. Eisenbraun Annu. Rev. Mater. Sci. 2000 30 363
13. R. Ecke S. E. Schultz M. Hecker T. Gessner Microelectron. Eng. 2002 64 261
14. J. G. Fleming E. Roherty-Osmun P. M. Smith J. S. Custer Y.-D. Kim T. Kacsich M.-A. Nicolet C. J. Galewski Thin Solid Films 1998 320 10
15. H. S. Sim S.-I. Kim Y. T. Kim J. Vac. Sci. Technol., B 2003 21 1411
16. H. S. Sim S.-I. Kim H. Jeon Y. T. Kim Jpn. J. Appl. Phys. 2003 42 6359
17. K.-E. Elers V. Saanila P. Soininen W.-M. Li J. T. Kostamo S. Haukka J. Juhanoja W. F. A. Besling Chem. Vap. Deposition 2002 8 149
18. B. H. Lee K. Yong J. Electrochem. Soc. 2004 151 C594
19. B. H. Lee K. Yong J. Vac. Sci. Technol., B 2004 22 2375
20. J. E. Kelsey C. Goldberg G. Nuesca G. Peterson A. E. Kaloyeros B. Arkles J. Vac. Sci. Technol., B. 1999 17 1101
21. M. H. Tsai S. C. Sun H. T. Chiu S. H. Chuang Appl. Phys. Lett. 1996 68 1412
22. O. J. Bchir K. M. Green H. M. Ajmera E. A. Zapp T. J. Anderson B. C. Brooks L. L. Reitfort D. H. Powell K. A. Abboud L. McElwee-White J. Am. Chem. Soc. 2005 127 7825
23. O. J. Bchir K. C. Chan T. J. Anderson V. Craciun B. C. Brooks L. McElwee-White J. Electrochem. Soc. 2004 151 G697
24. O. J. Bchir K. M. Green M. S. Hlad T. J. Anderson B. C. Brooks L. McElwee-White J. Cryst. Growth 2004 261 280
25. O. J. Bchir K. M. Green M. S. Hlad T. J. Anderson B. C. Brooks C. B. Wilder D. H. Powell L. McElwee-White J. Organomet. Chem. 2003 684 338
26. O. J. Bchir S. W. Johnston A. C. Cuadra T. J. Anderson C. G. Ortiz B. C. Brooks D. H. Powell L. McElwee-White J. Cryst. Growth 2004 261 280
27. M. Leskelä M. Ritala Thin Solid Films 2002 409 138
28. M. Ritala and M. Leskelä, Handbook of Thin Film Materials, ed., H. S. Nalwa, Academic Press, New York, 2001, vol. 1, pp. 103-159
29. J. S. Becker R. G. Gordon Appl. Phys. Lett. 2003 82 2239
30. J. S. Becker S. Suh S. Wang R. G. Gordon Chem. Mater. 2003 15 2969
31. A. Rugge J. S. Becker R. G. Gordon S. H. Tolbert Nano Lett. 2003 3 1293
32. D. C. Bradley I. M. Thomas Can. J. Chem. 1964 40 1355
33. Y. Takahashi N. Onoyama Y. Ishikawa S. Motojima K. Sugiyama Chem. Lett. 1978 525
34. P. Alén M. Ritala K. Arstila J. Keinonen M. Leskelä J. Electrochem. Soc. 2005 152 G361
35. C. L. Dezelah, IV O. M. El-Kadri M. J. Heeg L. Niinistö C. H. Winter Proc. Electrochem. Soc. 2005 2005-09 563
36. C. L. Dezelah, IV O. M. El-Kadri M. J. Heeg C. H. Winter J. Mater. Chem. 2004 14 3167
37. E. Sebe I. A. Guzei M. J. Heeg L. M. Liable-Sands A. L. Rheingold C. H. Winter Eur. J. Inorg. Chem. 2005 3955
38. H. M. El-Kaderi M. J. Heeg C. H. Winter Eur. J. Inorg. Chem. 2005 2081
39. H. M. El-Kaderi M. J. Heeg C. H. Winter Polyhedron 2005 24 645
40. K. R. Gust J. E. Knox M. J. Heeg H. B. Schlegel C. H. Winter Angew. Chem., Int. Ed. 2002 41 1591
41. K. R. Gust M. J. Heeg C. H. Winter Polyhedron 2001 20 805
42. D. Pfeiffer M. J. Heeg C. H. Winter Angew. Chem., Int. Ed. 1998 37 2517
43. D. Pfeiffer B. J. Ximba L. M. Liable-Sands A. L. Rheingold M. J. Heeg D. M. Coleman H. B. Schlegel T. F. Kuech C. H. Winter Inorg. Chem. 1999 38 4539
44. T. D. Culp J. G. Cederberg B. Bieg T. F. Kuech K. L. Bray D. Pfeiffer C. H. Winter J. Appl. Phys. 1998 83 4918
45. J. G. Cederberg T. D. Culp B. Bieg D. Pfeiffer C. H. Winter K. L. Bray T. F. Kuech J. Cryst. Growth 1998 195 105
46. J. G. Cederberg T. D. Culp B. Bieg D. Pfeiffer C. H. Winter K. L. Bray T. F. Kuech J. Appl. Phys. 1999 85 1825
47. D. M. Hoffman Polyhedron 1994 13 1169
48. G. Schoettel J. Kress J. A. Osborn J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989 1062
49. W. A. Nugent R. L. Harlow Inorg. Chem. 1980 19 777
50. J. Sundermeyer Chem. Ber. 1991 124 1977
51. C. Yélamos K. R. Gust A. G. Baboul M. J. Heeg H. B. Schlegel C. H. Winter Inorg. Chem. 2001 40 6451
52. N. N. Greenwood and A. Earnshaw, Chemistry of the Elements, Butterworth-Heinemann, London, 2nd edn, 1997, p. 1004
53. D. E. Wigley Prog. Inorg. Chem. 1994 42 239
54. I. A. Guzei L. M. Liable-Sands A. L. Rheingold C. H. Winter J. Organomet. Chem. 1997 16 4017
55. S.-H. Kim S. S. Oh H.-M. Kim D.-H. Kang K.-B. Kim W.-M. Li S. Haukka M. Tuominen J. Electrochem. Soc. 2004 151 C272
56. K.-E. Elers V. Saanila W.-M. Li P. J. Soininen J. T. Kostamo S. Haukka J. Juhanoja W. F. A. Besling Thin Solid Films 2003 434 94
57. J. Elguero E. Gonzalez R. Jacquier Bull. Soc. Chim. Fr. 1968 707
58. E. O. John R. D. Willett B. Scott R. L. Kirchmeier J. M. Shreeve Inorg. Chem. 1989 28 893
59. C. Yélamos M. J. Heeg C. H. Winter Inorg. Chem. 1998 37 3892
60. SMART, SAINT, SADABS are collection and processing programs distributed by the manufacturer, Bruker AXS Inc., Madison, Wisconsin, USA
61. G. Sheldrick, SHELX-97, University of Göttingen, Germany, 1997
62. A. L. Spek, PLATON, Utrecht University, The Netherlands, 2003
63. A. L. Spek J. Appl. Crystallogr. 2003 36 7