Field-induced current modulation in epitaxial film of deep-ultraviolet transparent oxide semiconductor Ga2O3

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 9, 2006, Pages

  Matsuzaki, Kosuke ^a   Yanagi, Hiroshi ^a   Kamiya, Toshio ^a,b   Hiramatsu, Hidenori ^b   Nomura, Kenji ^b   Hirano, Masahiro ^b   Hosono, Hideo ^a,b  

^a TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

^b JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTRIC FIELDS; EPITAXIAL GROWTH; PULSED LASER DEPOSITION; THIN FILMS;

CHANNEL CONDUCTANCE; EPITAXIAL FILMS; ROOM TEMPERATURE;

SEMICONDUCTING GALLIUM COMPOUNDS;

EID: 33644778507     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2179373     Document Type: Article

References (24)

1. A. Kinoshita, H. Hirayama, M. Ainoya, Y. Aoyagi, and A. Hirata, Appl. Phys. Lett. 77, 175 (2000).
2. H. Ohta, K. Kawamura, M. Orita, M. Hirano, N. Sarukura, and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 77, 475 (2000).
3. A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makino, M. Sumiya, K. Ohtani, S. F. Chichibu, S. Fuke, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, and M. Kawasaki, Nat. Mater. 4, 42 (2004).
4. S. Arulkumaran, M. Sakai, T. Egawa, H. Ishikawa, T. Jimbo, T. Shibata, K. Asai, S. Sumiya, Y. Kuraoka, M. Tanaka, and O. Oda, Appl. Phys. Lett. 81, 1131 (2002).
5. S. Harada, S. Suzuki, J. Senzaki, R. Kosugi, K. Adachi, K. Fukuda, and K. Arai, Mater. Sci. Forum 389-393, 1069 (2002).
6. M. Kubovic, M. Kasu, I. Kallfass, M. Neuburger, A. Aleksov, G. Koley, M. G. Spencer, and E. Kohn, Diamond Relat. Mater. 13, 802 (2004).
7. R. L. Hoffman, B. J. Norris, and J. F. Wager, Appl. Phys. Lett. 82, 733 (2003).
8. J. Nishii, F. M. Hossain, S. Takagi, T. Aita, K. Saikusa, Y. Ohmaki, I. Ohkubo, S. Kishimoto, A. Ohtomo, T. Fukumura, F. Matsukura, Y. Ohno, H. Koinuma, H. Ohno, and M. Kawasaki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 42, L347 (2003).
9. K. Nomura, H. Ohta, K. Ueda, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, Science 300, 1269 (2003).
10. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, Nature (London) 432, 488 (2004).
11. N. L. Dehuff, E. S. Kettenring, D. Hong, H. Q. Chiang, J. F. Wager, R. L. Hoffman, C.-H. Park, and D. A. Keszler, J. Appl. Phys. 97, 064505 (2005).
12. E. Betzig, J. K. Trautman, T. D. Harris, J. S. Weiner, and R. L. Kostelak, Science 251, 1468 (1991).
13. M. Oto, S. Kikugawa, N. Sarukura, M. Hirano, and H. Hosono, IEEE Photonics Technol. Lett. 13, 978 (2001).
14. M. Oto, S. Kikugawa, T. Miura, M. Hirano, and H. Hosono, J. Non-Cryst. Solids 349, 133 (2004).
15. S. Tiwari, F. Rana, H. Hanafi, A. Hartstein, E. F. Crabbá, and K. Chan, Appl. Phys. Lett. 68, 1377 (1996).
16. H. Mizuta, M. Wagner, and K. Nakazato, IEEE Trans. Electron Devices 48, 1103 (2001).
17. N. Ueda, H. Hosono, R. Waseda, and H. Kawazoe, Appl. Phys. Lett. 70, 3561 (1997).
18. M. Orita, H. Ohta, M. Hirano, and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 77, 4166 (2000).
19. M. Orita, H. Hiramatsu, H. Ohta, M. Hirano, and H. Hosono, Thin Solid Films 411, 134 (2002).
20. S. Geller, J. Chem. Phys. 33, 676 (1960).
21. V. Holy, U. Pietsch, and T. Baumbach, High Resolution X-Ray Scattering from Thin Films and Multilayers, Springer Tracts in Modern Physics Vol. 149 (Springer, Berlin, 1999).
22. K. Omote and J. Harada, Adv. X-Ray Anal. 43, 192 (1999).
23. R. Roy, V. G. Hill, and E. F. Osborn, J. Am. Chem. Soc. 74, 719 (1952).
24. B. Ollivier, R. Retoux, P. Lacorre, D. Massiot, and G. Fárey, J. Mater. Chem. 7, 1049 (1997).