Combining electrothermal vaporization inductively coupled plasma mass spectrometry with in situ TMAH thermochemolysis for the direct determination of trace impurities in a polymer-based photoresist

Journal of Analytical Atomic Spectrometry

Volumn 21, Issue 3, 2006, Pages 311-316

  Sun, Yun Chang ^a   Ko, Chu Jung ^a  

^a NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

HEATING; IMPURITIES; INDUCTIVELY COUPLED PLASMA; MASS SPECTROMETRY; PHOTORESISTS; POLYMERS; TEMPERATURE DISTRIBUTION; VAPORIZATION;

ELECTROTHERMAL VAPORIZATION; POLYMERIC MATRIX; WET CHEMICAL TECHNIQUE;

TRACE ELEMENTS;

EID: 33644627051     PISSN: 02679477     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b512233c     Document Type: Article

References (27)

1. R. Vos M. Kux M. Meuris P. Mertens M. Heyns R. Ramage Solid State Phenomena 1999 65 279
2. J. P. Joly Microelectron. Eng. 1998 40 285
3. M. Y. Wang F. H. Ko T. K. Wanh C. C. Yang T. Y. Huang J. Electrochem. Soc. 1999 146 3455
4. J. Rakahahi and K. Yono, Agilent Technologies Inc., publication no. 5988-7100EN
5. E. A. Fitzgerald R. F. Almeida J. Electrochem. Soc. 1992 139 1413
6. K. E. Jarvis, A. L. Gray and R. S. Houk, Handbook of Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, Chapman and Hall, New York, 1992
7. M. Takenaka S. Kozuka Y. Hashimoto Bunseki Kagaku 1993 42 T71
8. F. H. Ko J. K. Lu T. C. Chu C. T. Chou L. T. Hsiao H. C. Lin J. Anal. At. Spectrom. 2000 15 715
9. J. K. Lu F. H. Ko T. C. Chu Y. C. Sun M. Y. Wang T. K. Wang Anal. Chim. Acta 2000 407 291
10. F. H. Ko M. Y. Wang T. K. Wang Anal. Chem. 1999 71 5413
11. Y. C. Sun Z. R. Ge Microchem. J. 2004 78 163
12. S. J. Huang S. J. Jiang J. Anal. At. Spectrom. 2001 16 664
13. P. Viñas M. Pardo-Martínez M. Hernández- Córdoba J. Anal. At. Spectrom. 2001 16 664
14. S. C. Stephen D. Littlejohn J. M. Ottaway Analyst 1985 110 1147
15. R. W. Fonseca N. J. Miller-Ihli C. Sparks J. A. Holcombe B. Shaver Appl. Spectrosc. 1997 51 1800
16. R. G. L. Silva S. N. Willie R. E. Sturgeon R. E. Santelli S. M. Sella Analyst 1999 124 1843
17. P. Maruins D. Pozebon V. L. Dressler G. A. Kemieciki Anal. Chim. Acta 2002 470 195
18. A. A. Almeida J. L. F. C. Lima J. Anal. At. Spectrom. 2000 15 1019
19. L. J. Yu S. R. Koirtyohann M. L. Rueppel A. K. Skipor J. J. Jacobs J. Anal. At. Spectrom. 1997 12 69
20. J. P. Snell E. Björn W. Frech J. Anal. At. Spectrom. 2000 15 397
21. Y. Okamoto N. Takagaki T. Fujiwara T. Kumamary Anal. Commun. 1997 34 283
22. Y. Okamoto J. Anal. At. Spectrom. 1999 14 1767
23. Y. Okamoto Fresenius' J. Anal. Chem. 2000 367 300
24. Y. Okamoto Fresenius' J. Anal. Chem. 2000 367 295
25. Y. Okamoto R. Kikkawa Y. Kobayashi T. Fujiwara J. Anal. At. Spectrom. 2001 16 96
26. Y. Okamoto K. Kanda S. Kishiwada T. Fujiwara Appl. Spectrosc. 2004 58 105
27. B. Chefetz Y. Chen C. E. Clapp P. G. Hatcher Soil Sci. Soc. Am. J. 2000 64 583