Optically measured roughness profiles;Rauheitsmessung mit optischen tastern: Herstellen der vergleichbarkeit zwischen mechanischem und optischem tastschnitt

F and M; Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Messtechnik

Volumn 104, Issue 5, 1996, Pages 376-378

  Plenk, Valentin ^a,b  

^a TU Munchen Elektrotech mit S ^*

^b TECHNICAL UNIVERSITY OF MUNICH   (Germany)

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EID: 3342932321     PISSN: 09441018     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

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