Planarer Vakuumsensor

VDI Berichte

Volumn , Issue 1530, 2000, Pages 309-315

  Bedo G ^a   Bayha, B ^a   Schmitt Landsiedel, D ^a  

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EID: 31444444112     PISSN: 00835560     EISSN: None     Source Type: Book Series    
DOI: None     Document Type: Article

References (6)

1. G. Bedö, W. Kraus, R. Müller, Pirani-Sensor in Si-Mikromechanik, ITG-Fachbericht "Sensoren und Meßtechnik", Bad Nauhcim, 9.-11. März 1998
2. Sander van Herwaarden, Thermal vacuum sensors based on integrated silicon thermopiles, Diss. Techn. Univ. Delft (1987)
3. M. Wutz, H. Adam, W. Walcher, Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, Vieweg Verlag Braunschweig/Wiesbaden, 4. Auflage (1988)
4. Robert Aigner, Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren, Diss. Techn. Univ. München (1993)
5. W. Pupp, H.K. Hartmann, Vakuumtechnik, Carl Hanser München, Wien 1991
6. G. Bedö, W. Kraus, R. Müller, Comparison of different micromechanical vaccum sensors, The 13th European Conference on Solid-State Transducers, Eurosensors XIII, The Hague, The Netherlands, September 12-15, 1999