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Volumn 161-163, Issue , 2000, Pages 227-230

New high-precision 5-axes RBS/channeling goniometer for ion beam analysis of 150 mm Ø wafers

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Channeling; Goniometer; Ion beam analysis; Manipulator; UHV

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EID: 3142707834     PISSN: 0168583X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0168-583X(99)00747-8     Document Type: Article
Times cited : (29)

References (4)
  • 2
    • 33645825563 scopus 로고    scopus 로고
    • accuspec NaI, Canberra Packard GmbH, Dreieich, Germany
    • accuspec NaI, Canberra Packard GmbH, Dreieich, Germany.


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.