Terrace width dependence of cobalt silicide nucleation on Si(111)- (7×7)

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 2, 2006, Pages 1-3

  Zilani, M A K ^a   Xu, H ^a   Wang, X S ^a   Wee, A T S ^a  

^a NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE   (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTRODES; EPITAXIAL GROWTH; MORPHOLOGY; NANOSTRUCTURED MATERIALS; NUCLEATION; SCANNING TUNNELING MICROSCOPY; SILICON;

NANODEVICE FABRICATION; SELF-ASSEMBLED COBALT SILICIDE CLUSTERS; SILICIDE ISLAND NUCLEATION; SOLID-PHASE-EPITAXY GROWN CLUSTERS;

COBALT COMPOUNDS;

EID: 30744446697     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2163627     Document Type: Article

References (30)

1. W.-C. Lin, C.-C. Kuo, M.-F. Luo, K.-J. Song, and M.-T. Lin, Appl. Phys. Lett. 86, 043105 (2005).
2. F. J. Himpsel, A. Kirakosian, J. N. Crain, J.-L. Lin, and D. Y. Petrovykh, Solid State Commun. 117, 149 (2001).
3. N. Weiss, T. Cren, M. Epple, S. Rusponi, G. Baudot, S. Rohart, A. Tejeda, V. Repain, S. Rousset, P. Ohresser, F. Scheurer, P. Bencok, and H. Brune, Phys. Rev. Lett. 95, 157204 (2005).
4. S. Rusponi, T. Cren, N. Weiss, M. Epple, P. Buluschek, L. Claude, and H. Brune, Nat. Mater. 2, 546 (2003).
5. B. Voigtlander, G. Meyer, and N. M. Amer, Phys. Rev. B 44, 10354 (1991).
6. S. Helveg, J. V. Lauritsen, E. Lægsgaard, I. Stensgaard, J. K. Nørskov, B. S. Clausen, H. Topsøe, and F. Besenbacher, Phys. Rev. Lett. 84, 951 (2000).
7. F. K. Men, F. Liu, P. J. Wang, C. H. Chen, D. L. Cheng, J. L. Lin, and F. J. Himpsel, Phys. Rev. Lett. 88, 096105 (2002).
8. J. Viernow, J.-L. Lin, D. Y. Petrovykh, F. M. Leibsle, F. K. Men, and F. J. Himpsel, Appl. Phys. Lett. 72, 948 (1998).
9. B. S. Swartzentruber, Y. W. Mo, M. B. Webb, and E. D. Lagally, J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2901 (1989).
10. T. Meyer, M. Klemenc, T. Graf, and H. V. Kanel, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 1848 (1999).
11. A. Sgarlata, P. D. Szkutnik, A. Balzarotti, N. Motta, and F. Rosei, Appl. Phys. Lett. 83, 4002 (2003).
12. V. Cimalla, J. Pezoldt, T. Stauden, A. A. Schmidt, K. Zekentes, and O. Ambacher, Phys. Stat. Sol. 1, 337 (2004).
13. H. V. Kanel, Mater. Sci. Rep. 8, 193 (1992).
14. B. Ilge, G. Palasantzas, J. de Nijs, and L. J. Geerligs, Surf. Sci. 414, 279 (1998).
15. R. Stalder, H. Sirringhaus, N. Onda, and H. V. Kanel, Surf. Sci. 258, 153 (1991).
16. H. Xu, Y. G. Li, A. T. S. Wee, C. H. A. Huan, and E. S. Tok, Surf. Sci. 513, 249 (2002).
17. P. A. Bennett and H. von Kanel, J. Phys. D 32, R71 (1999).
18. I. Markov, Phys. Rev. B 54, 17930 (1996).
19. R. L. Schwoebel and E. J. Shipsey, J. Appl. Phys. 37, 3682 (1966).
20. G. Ehrlich and F. G. Hudda, J. Chem. Phys. 44, 1039 (1966).
21. J. Villain, J. Phys. I 1, 19 (1991).
22. S. Gwo, C.-P. Chou, C.-L. Wu, Y.-J. Ye, S.-J. Tsai, W.-C. Lin, and M.-T. Lin, Phys. Rev. Lett. 90, 185506 (2003).
23. W. Chen, K. P. Loh, H. Xu and A. T. S. Wee, Appl. Phys. Lett. 84, 281 (2004).
24. M. Z.-Allmang, L. C. Feldman, and M. H. Grabow, Surf. Sci. Rep. 16, 377 (1992).
25. M. Z.-Allmang, L. C. Feldman, S. Nakahara, and B. A. Davidson, Phys. Rev. B 39, 7848 (1989).
26. B. Voigtländer, Surf. Sci. Rep. 43, 127 (2001).
27. P. A. Bennett, S. A. Parikh, and D. G. Cahill, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 1680 (1993).
28. F. M. Ross, J. Tersoff, and R. M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 80, 984 (1998).
29. M. Goryll, L. Vescan, K. Schmidt, S. Mesters, H. Luth, and K. Szot, Appl. Phys. Lett. 71, 410 (1997).
30. G. M.-Ribeiro, A. M. Bratkovski, T. I. Kamins, D. A. A. Ohlberg, and R. S. Williams, Science 279, 353 (1998).