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Volumn , Issue , 2005, Pages 398-401

Enabling DFM and APC strategies at the 32nm technology node

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PARAMETER ESTIMATION; PROCESS CONTROL; TECHNOLOGY TRANSFER;

EID: 28744452506     PISSN: 1523553X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1109/issm.2005.1513388     Document Type: Conference Paper
Times cited : (6)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.