High aspect ratio structures obtained by electroforming in microstructured glass

Microsystem Technologies

Volumn 2, Issue 3, 1996, Pages 109-113

  Hulsenberg D ^a   Harnisch, A ^a   Jakob, C ^a   May, M ^a   Straube, B ^a  

^a ILMENAU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

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EID: 2842573704     PISSN: 09467076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s005420050025     Document Type: Article

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