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Volumn 40, Issue 5, 1997, Pages 710-712

Automated electrothermographic setup for the investigation of high-rate CVD processes

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EID: 27644571701     PISSN: 00204412     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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References (3)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.