M-center in low-dose proton implanted 4H-SiC; Bistability and change in emission rate

Materials Science Forum

Volumn 483-485, Issue , 2005, Pages 497-500

  Nielsen, H Kortegaard ^a   Hallen A ^a   Martin, D M ^a   Svensson, B G ^b  

^a ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Sweden)

^b UNIVERSITY OF OSLO   (Norway)

Author keywords

4H SiC; Bistable; DLTS; Emission rate; Ion implantation; Metastable

Indexed keywords

ANNEALING; ION IMPLANTATION; PROTONS; THERMAL EFFECTS;

BISTABLE; EMISSION RATE; METASTABLE;

DOSIMETRY;

EID: 25144484102     PISSN: 02555476     EISSN: 16629752     Source Type: Book Series    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (13)

1. J. P. Doyle, M. O. Aboelfotoh, B. G. Svensson, A. Schöner, and N. Nordell, Diamond and Related Materials 6, 1388 (1997).
2. T. Dalibor, G. Pensl, H. Matsunami, T. Kimoto, W. J. Choyke, A. Schöner, and N. Nordell, Phys. stat. sol. (a) 162, 199 (1997).
3. C. G. Hemmingsson, N. T. Son, A. Ellison, J. Zhang, and E. Janzén, Phys. Rev. B. 58, R10 119 (1998).
4. L. Storasta, F. H. C. Carlsson, S. G. Sridhara, J. P. Bergman, A. Henry, T. Egilsson, A. Hallén, and E. Janzén, Appl. Phys. Lett. 78, 46 (2001).
5. I. Pintilie, L. Pintilie, and K. Irmscher, Appl. Phys. Lett. 81, 4841 (2002).
6. M. L. David, G. Alfieri, E. Monakhov, A. Hallén, C. Blanchard, B. G. Svensson, and J. F. Barbot, Jour. Appl. Phys. 95, 4728 (2004).
7. H. K. Nielsen, D. M. Martin, P. Lévêque, A. Hallén, and B. G. Svensson, Physica B 340-342, 743 (2003).
8. D. M. Martin, H. K. Nielsen, P. Lévêque, A. Hallén, G. Alfieri, and B. G. Svensson, Appl. Phys. Lett. 84, 1704 (2004).
9. A. Galeckas, J. Linnros, and P. Pirouz, Appl. Phys. Lett. 81, 883 (2002).
10. U. Lindefelt, H. Iwata, S. Öberg, and P. R. Briddon, Phys. Rev. B. 67, 155204 (2003).
11. J. W. Steeds, G. A. Evans, L. R. Danks, S. Furkert, W. Voegeli, M. M. Ismail, and F. Carosella, Diamond and Related Materials 11, 1923 (2002).
12. A. Hallén, A. Henry, P. Pellegrino, B. G. Svensson, and D. berg, Mat. Sci. Eng. B 61-62, 378 (1999).
13. M. Bockstedte, A. Mattausch, and O. Pankratov, Phys. Rev. B. 68, 205201 (2003).