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Volumn 188, Issue 1, 2001, Pages 263-266

Uniformity and Scalability of AlGaN/GaN HEMTs Using Stepper Lithography

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EID: 1942425025     PISSN: 00318965     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/1521-396X(200111)188:1<263::AID-PSSA263>3.0.CO;2-P     Document Type: Article
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References (5)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.