Integrative quality assurance of micro-parts using microfeatures

Microsystem Technologies

Volumn 10, Issue 3, 2004, Pages 162-166

  Fleischer, J ^a   Spath, D ^b   Elsner, J ^a  

^a KARLSRUHE INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b FRAUNHOFER IAO   (Germany)

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DATABASE SYSTEMS; PRODUCTION ENGINEERING; QUALITY ASSURANCE; SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE;

FABRICATION TECHNOLOGY; INFORMATION DATABASE; MICROFEATURE CATALOGUE; MICROPARTS;

MICROELECTROMECHANICAL DEVICES;

EID: 1842611534     PISSN: 09467076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s00542-003-0345-4     Document Type: Article

References (11)

1. Baumeister G; Mueller K; Ruprecht R; Hausselt J (2002) Production of metallic high aspect ratio microstructures by microcasting. In: Microsystem technologies, Vol. 8, issue 2-3, Springer, Berlin Heidelberg New York, pp 105-108
2. Grayer AR (1976) A computer link between design and manufacture. PhD Thesis, University of Cambridge
3. Freissner F (1998) Prozessorientierte Prüfplanung auf Basis von Bearbeitungsobjekten für die Kleinserienfertigung am Beispiel der Bohr - und Fräsbearbeitung, Diss. Institute for Machine Tools and Production Science, University of Karlsruhe
4. Hain K (1997) Automatische Gewinnung von Merkmalen und Klassifizierungseigenschaften für Produkte auf Basis eines integrierten Produktmodells, Forschungsberichte aus dem RPK, Volume 97, Shaker Verlag
5. Masuzawa T (2000) State of the art of micro machining. In: CIRP Annals - College International de Recherche pour la Production, 49/2/2000, pp 473-488
6. Piotter V; Schaller T; Ruprecht R; Haußelt J (2001) Fabrication of microcomponents by micromachining and injection molding. In: Proceedings of the 2nd International euspen Conference, Turin (I), pp 66-69
7. Spath D; Elsner J (2001) Große Anforderungen an kleine Teile, Qualitätssicherung in der Mikrosystemtechnik. In: QZ Qualität und Zuverlässigkeit 11/2001, Vol. 46, Hanser Verlag, pp 1408-1409
8. Spath D; Elsner J (2002) Quality assurance of micro-mechanical components. In: Proceedings of European society for precision engineering and nanotechnology, 26.05-29.05.2002 in Eindhoven (NL), pp 403-407
9. Suh NP (1990) The principles of design. Oxford University Press, New York
10. Wang KK; Zhou J. (2000) A concurrent-engineering approach toward the online adaptive control of injection molding process. In: Annals of CIRP Vol. 49/1/2000, pp 379-382
11. VDI directive 2218 (1998) Feature-technologie, Springer, Berlin Heidelberg New York