Nano Measuring Machine for Zero Abbe Offset Coordinate-Measuring;Nanomessmaschine zur abbefehlerfreien Koordinatenmessung

Technisches Messen

Volumn 67, Issue 7-8, 2000, Pages 319-323

  Jäger, Gerd ^a   Manske, Eberhard ^a   Hausotte, Tino ^a   Büchner, Hans Joachim ^a  

^a ILMENAU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

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ABBE OFFSET; ANGULAR SENSOR; MEASUREMENT RANGE; NANO MEASURING MACHINES; PRECISION MEASUREMENT; PROCESS MEASUREMENTS; SENSOR TECHNOLOGIES; SURFACE SENSING; COORDINATE MEASURING; THREE DIMENSIONAL COORDINATE;

INSTRUMENTS; MEASUREMENTS; NANOSENSORS;

SENSORS; PRECISION ENGINEERING;

EID: 18244427913     PISSN: 01718096     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (4)

1. Hasche, K.; Herrmann, K.; Büchner, H.-J.; Pohlenz, F.; Seemann, R.: Lösungsbeispiele für quantitative Rastersondenmikroskopie in der Mikro- und Nanotechnik. In: 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, September 1999, S. 68 bis 73.
2. Jäger, G.: Lasernanomesstechnik - Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen in der modernen Gerätetechnik. In: 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, September 1999, S. 43 bis 54.
3. Teague, E. C.: Nanometrology. In: Wickramasinghe, H. K. (Hrsg.): Scanned Probe Microscopy. Gaithersburg, MD 20899: National Institute of Standards and Technology, 1991.
4. Zhao, Xianbin: Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer / Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Braunschweig, Oktober 1995. Forschungsbericht.