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Volumn 65, Issue 7, 2002, Pages 0732021-0732024

First-principles investigation' of a-SiNx:H

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HYDROGEN; NITROGEN; SILICON NITRIDE;

EID: 17644442582     PISSN: 01631829     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
Times cited : (46)

References (27)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.