Computational studies of elementary steps relating to boron doping during diamond chemical vapour deposition

Physical Chemistry Chemical Physics

Volumn 7, Issue 6, 2005, Pages 1121-1126

  Cheesman, Andrew ^a   Harvey, Jeremy N ^a   Ashfold, Michael N R ^a  

^a UNIVERSITY OF BRISTOL   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BORON; CARBON; DIAMOND;

ARTICLE; CHEMICAL REACTION; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; DENSITY FUNCTIONAL THEORY; ELECTRIC CONDUCTIVITY; ENERGY; MODEL; PRESSURE;

EID: 16244422320     PISSN: 14639076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b418664h     Document Type: Article

References (24)

1. D. G. Goodwin and J. E. Butler, in Handbook of Industrial Diamonds and Diamond Films, ed. M. A. Prelas, G. Popovici and L. K. Bigelow, Marcel Dekker Inc., New York, 1998, p. 527, and references therein.
2. K. Bobrov, A. Mayne, G. Comtet, G. Dujardin, L. Hellner and A. Hoffman, Phys. Rev. B, 2003, 68, 195416.
3. D. Huang and M. Frenklach, J. Phys. Chem., 1992, 96, 1868.
4. B. J. Garrison, E. J. Dawnkaski, D. Srivastava and D. W. Brenner, Science, 1992, 255, 835.
5. J. K. Kang and C. B. Musgrave, J. Chem. Phys., 2000, 113, 7582.
6. J. F. H. Custers, Physica (Amsterdam), 1952, 18, 489.
7. Z. Y. Xie, J. H. Edgar, T. L. McCormick and M. V. Sidorov, Diamond Relat. Mater., 1998, 7, 1357.
8. S. Yamanaka, H. Watanabe, S. Masai, D. Takeuchi, H. Okushi and K. Kajimura, Jpn. J. Appl. Phys., 1998, 37, L1129.
9. P. Wurzinger, P. Pongratz, P. Hartmann, R. Haubner and B. Lux, Diamond Relat. Mater., 1997, 6, 763.
10. A. Deneuville, Semicond. Semimet., 2003, 76, 183.
11. R. Samlenski, C. Haug, R. Brenn, C. Wild, R. Locher and P. Koidl, Diamond Relat. Mater., 1996, 5, 947.
12. J. Angus, Y. V. Pleskov and S. C. Eaton, Semicond. Semimet., 2004, 77, 97.
13. J. Isberg, J. Hammersberg, E. Johansson, T. Wikström, D. J. Twitchen, A. J. Whitehead, S. E. Coe and G. A. Scarsbrook, Science, 2002, 297, 1670.
14. M. N. Latto, D. J. Riley and P. W. May, Diamond Relat. Mater., 1999, 9, 1181.
15. S. Koizumi, K. Watanabe, F. Hasegawa and H. Kanda, Science, 2001, 292, 1899.
16. Z. Teukam, J. Chevallier, C. Saguy, R. Kalish, D. Ballutaud, M. Barbé, F. Jomard, A. Tromson-Carli, C. Cytermann, J. E. Butler. M. Bernard, C. Baron and A. Deneuville, Nature Mater., 2003, 2, 482.
17. J. P. Goss, P. R. Briddon, S. J. Sque and R. Jones, Phys. Rev. B, 2004, 69, 165215.
18. A. Cheesman, D. M. Comerford, R. S. Sage, D. M. E. Davies, J. A. Smith, M. N. R. Ashfold and Yu. A. Mankelevich, manuscript in preparation.
19. C. L. Yu and S. H. Bauer, J. Phys. Chem. Ref. Data, 1998, 27, 807.
20. S. J. Harris, J. Kiefer, Q. Zhang, A. Schoene and K. W. Lee, J. Electrochem. Soc., 1998, 145, 3203.
21. H. B. Schlegel, A. G. Baboul and S. J. Harris, J. Phys. Chem., 1996, 100, 9774.
22. See, however K. Larsson, Phys. Stat. Sol., 2002, 193, 409, for a study of N, P and S reactions at the diamond surface.
23. M. J. Frisch, G. W. Trucks, H. B. Schlegel, G. E. Scuseria, M. A. Robb, J. R. Cheeseman, J. A. Montgomery Jr, T. Vreven, K. N. Kudin, J. C. Burant, J. M. Millam, S. S. Iyengar, J. Tomasi, V. Barone, B. Mennucci, M. Cossi, G. Scalmani, N. Rega, G. A. Petersson, H. Nakatsuji, M. Hada, M. Ehara, K. Toyota, R. Fukuda, J. Hasegawa, M. Ishida, T. Nakajima, Y. Honda, O. Kitao, H. Nakai, M. Klene, X. Li, J. E. Knox, H. P. Hratchian, J. B. Cross, C. Adamo, J. Jaramillo, R. Gomperts, R. E. Stratmann, O. Yazyev, A. J. Austin, R. Cammi, C. Pomelli, J. W. Ochterski, P. Y. Ayala, K. Morokuma, G. A. Voth, P. Salvador, J. J. Dannenberg, V. G. Zakrzewski, S. Dapprich, A. D. Daniels, M. C. Strain, O. Farkas, D. K. Malick, A. D. Rabuck, K. Raghavachari, J. B. Foresman, J. V. Ortiz, Q. Cui, A. G. Baboul, S. Clifford, J. Cioslowski, B. B. Stefanov, G. Liu, A. Liashenko, P. Piskorz, I. Komaromi, R. L. Martin, D. J. Fox, T. Keith, M. A. Al-Laham, C. Y. Peng, A. Nanayakkara, M. Challacombe, P. M. W. Gill, B. Johnson, W. Chen, M. W. Wong, C. Gonzalez and J. A. Pople, GAUSSIAN 03, (Revision B04), Gaussian, Inc., Pittsburgh PA, 2003.
24. R. D. Amos, A. Bernhardsson, A. Berning, P. Celani, D. L. Cooper, M. J. O. Deegan, A. J. Dobbyn, F. Eckert, C. Hampel, G. Hetzer, P. J. Knowles, T. Korona, R. Lindh, A. W. Lloyd, S. J. McNicholas, F. R. Manby, W. Meyer, M. E. Mura, A. Nicklass, P. Palmieri, R. Pitzer, G. Rauhut, M. Schütz, U. Schumann, H. Stoll, A. J. Stone, R. Tarroni, T. Thorsteinsson and H.-J. Werner, MOLPRO, a package of ab initia programs designed by H.-J. Werner and P. J. Knowles, Version 2002.l, 2002.