Miniaturised optical displacement sensor

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

Volumn 5459, Issue , 2004, Pages 254-258

  Gindele, Frank ^a   Gaul, Frank ^a   Kraus, Silvio ^a   Sigloch, Susanne ^a   Teubner, Ulrich ^a  

^a INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH   (Germany)

Author keywords

Amplitude grating; Displacement sensor; Miniaturised optical sensor; Optical encoder; Position sensor

Indexed keywords

COST EFFECTIVENESS; LIGHT EMITTING DIODES; MACHINING; MICROMETERS; POLYMERS; POTENTIOMETERS (RESISTORS); THERMODYNAMIC STABILITY;

AMPLITUDE GRATING; DISPLACEMENT SENSOR; MINIATURISED OPTICAL SENSOR; OPTICAL ENCODER; POSITION SENSOR;

OPTICAL SENSORS;

EID: 10044259789     PISSN: 0277786X     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1117/12.546077     Document Type: Conference Paper

References (3)

1. E. Alfons, Digitale Längen- und Winkelmesstechnik, Landsberg/Lech: Verl. Moderne Industrie, ISBN 3-478-93191-6, (1998)
2. F. Hock, H. Kreitlow: Optische Moiré- und Speckle-Methoden in der Messtechnik. Herbstschule 1977, Institut für Messtechnik im Maschinenbau der Technischen Universität
3. M. Neuwinger: Miniaturised linear positioning systems. Proceed. MICRO. tec 2003, Munich, Statusseminare BMBF-Verbundvorhaben, 219,(2003)