Low temperature inorganic chemical vapor deposition of heteroepitaxial GaN

Applied Physics Letters

Volumn 69, Issue 2, 1996, Pages 203-205

  McMurran, Jeffrey ^a   Todd, M ^a   Kouvetakis, J ^a   Smith, David J ^a  

^a ARIZONA STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0347626225     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.117372     Document Type: Article

References (12)

1. H. Morkoc, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. 76, 1763 (1994).
2. A. C. Jones, C. R. Whirehouse, and J. S. Roberts, Chem. Vap. Deposition 1, 65 (1995).
3. S. Nakamura, M. Senoh, N. Iwasa, and S. Nagahama, Jpn. J. Appl. Phys. 34, L797 (1995).
4. S. D. Lester, F. A. Ponce, M. G. Crawford, and D. A. Steigerwald, Appl. Phys. Lett. 66, 1249 (1995).
5. W. Qian, M. Skowronski, M. de Graef, K. Dovenspike, L. B. Rowland, and D. K. Gaskill, Appl. Phys. Lett. 66, 1252 (1995).
6. Z. Lilienthal-Weber, H. Sohn, N. Newman, and J. Washburn, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1578 (1995).
7. D. J. Smith, D. Chandrasakher, B. Sverdlov, A. Botchkarev, A. Salvador, and H. Morkoc, Appl. Phys. Lett. 67, 1830 (1995).
8. B. N. Sverdlov, G. A. Martin, H. Morkoc, and D. J. Smith, Appl. Phys. Lett. 67, 2063 (1995).
9. M. S. Brandt, N. M. Johnson, R. J. Molnar, R. Singh, and T. D. Moustakas, Appl. Phys. Lett. 64, 2264 (1994).
10. J. Kouvetakis and D. B. Beach, Chem. Mater. 1, 476 (1989).
11. V. Lakhoita, D. A. Newmayer, A. H. Cowley, R. A. Jones, and J. G. Ekerdt, Chem. Mater. 3, 441 (1995).
12. D. A. Newmayer, A. H. Cowley, A. Decken, R. A. Jones, V. Lakhoita, and J. G. Ekerdt, J. Am. Chem. Soc. 117, 5893 (1995).