Magnetic-liquid-sealed vacuum rotary feedthroughs;Vakuum-Drehdurchführungen mit Magnetflüssigkeitsdichtungen

Vakuum in Forschung und Praxis

Volumn 15, Issue 6, 2003, Pages 306-311

  Ochonski W ^a  

^a Fac of Mech Eng and Robotics   (Poland)

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ROTARY FEEDTHROUGHS; X-RAY GENERATORS;

CONTAMINATION; MAGNETIC FLUIDS; ROTATING MACHINERY; SEALING (CLOSING); SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE; TORQUE; ULTRAHIGH VACUUM; X RAY ANALYSIS;

VACUUM TECHNOLOGY;

EID: 0346499385     PISSN: 0947076X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/vipr.200300016     Document Type: Article

References (12)

1. M. Rodemers-Mahler und M. Firmbach, Magnetfluide als Dichtmaterial in Dreh-durchführungen sorgen für höchste Reinheit im Vakuum, Vakuum in Forschung und Praxis, Nr. 3, 2001.
2. H. Sugiyama, H. Matsuura und Y Suzuki, Selection and application criteria for magnetic-liquid-sealed vacuum rotary feedthroughs, Microelectronic Manufacturing and Testing, October 1989.
3. W Tietze, Handbuch Dichtungspraxis, 3. Auflage, Vulkan-Verlag, Essen 2003.
4. W Ochoński, Anwendung von magnetischen Flüssigkeiten in Dichtungssystemen, Zeitschrift "Dichtungstechnik", Nr. 1.2003.
5. Patent USA, Int.Cl.F16J15/00, no 4995622, Magnetic fluid seal device.
6. Patent USA, Int.Cl.F16J15/40, no 6199867, Rotary motion feedthrough device.
7. Patent USA, Int.Cl.F16J15/40, no 5975536, Rotary motion feedthrough with rotating magnetic system.
8. Patent PL, Int.Cl.F16J15/453, no 159631, Uszczelnienie ferromagnetyczne waŁu.
9. Patent JP, Int.Cl.F16J15/40, no 59231271, Magnetic fluid sealing device.
10. Vaktiumdrehdurchführungen mit Magnet-fluiddichtungen, Katalog Fa. ALMA driving elements GmbH, Germany.
11. Magnetic rotary seal unit-rotary feedthrough, Katalog Fa. Rlgaku Corp., USA.
12. Vacuum rotary feedthrough, Katalog Fa. Ferrofluidics Corp., USA.