Materials processing with intense pulsed ion beams

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 15, Issue 3, 1997, Pages 1089-1097

  Rej, D J ^a   Davis, H A ^a   Olson, J C ^a,f   Remnev, G E ^b   Zakoutaev, A N ^b   Ryzhkov, V A ^b   Struts, V K ^b   Isakov, I F ^b   Shulov, V A ^c   Nochevnaya, N A ^c   Stinnett, R W ^d   Neau, E L ^d   Yatsui, K ^e   Jiang, W ^e  

^a LOS ALAMOS NATIONAL LABORATORY   (United States)

^b Nuclear Physics Institute   (Russian Federation)

^c MOSCOW AVIATION INSTITUTE NATIONAL RESEARCH UNIVERSITY   (Russian Federation)

^d QM Technologies   (United States)

^e NAGAOKA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Japan)

^f VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0346377559     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580435     Document Type: Article

References (25)

1. J. P. VanDevender and D. L. Cook, Science 232, 831 (1986).
2. D. J. Rej, R. R. Bartsch, H. A. Davis, R. J. Faehl, J. B. Greenly, and W. J. Waganaar, Rev. Sci. Instrum. 64, 2753 (1993).
3. K. Yatsui, A. Tokuchi, H. Tanaka, H. Ishizuka, A. Kawai, E. Sai, K. Masugata, M. Ito, and M. Matsui. Laser Part. Beams 3, 119 (1985).
4. I. F. Isakov, V. N. Kolodii, M. S. Opekunov, V. M. Matvienko, S. A. Pechenkin, G. E. Remnev. and Y. P. Usov, Vacuum 42, 159 (1991).
5. H. A. Davis, G. E. Remnev, R. W. Stinnett, and K. Yatsui, Mater. Res. Bull. 21, 58 (1996), and references within.
6. R. W. Stinnett, R. G. Buchheit, F. A. Greulich, C. R. Hills, A. C. Kilgo, D. C. McIntyre, J. B. Greenly, M. O. Thompson, G. P. Johnston, and D. J. Rej, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 316, 521 (1994).
7. A. D. Pogrebnjak, Phys. Status Solidi A 86, 191 (1984).
8. S. A. Chistjakov, A. G. Pogrebnjak, and G. E. Remnev, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 42, 342 (1989).
9. D. J. Rej, H. A. Davis, M. Nastasi, J. C. Olson, E. J. Peterson, R. D. Reiswig, K. C. Walter, R. W. Stinnett, G. E. Remnev, and V. K. Struts, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B (in press).
10. G. E. Remnev and V. A. Shulov, Laser Part. Beams 11, 707 (1993).
11. V. A. Shulov, N. A. Nachovnaya, and G. E. Remnev, Surface Coat. Technol. (submitted).
12. Y. Shimotori, M. Yokoyama, H. Isobe, S. Harada, K. Masugata, and K. Yatsui, J. Appl. Phys. 63, 968 (1988); K. Yatsui, Laser Part. Beams 7, 733 (1989); K. Yatsui, X. D. Kang, T. Sonegawa, T. Matsuoka, K. Ma-sugata, Y. Shimotori, T. Satoh, S. Furuuchi, Y. Ohuchi, T. Takeshita, and H. Yamamoto, Phys. Plasmas 1, 1730 (1994).
13. Y. Shimotori, M. Yokoyama, H. Isobe, S. Harada, K. Masugata, and K. Yatsui, J. Appl. Phys. 63, 968 (1988); K. Yatsui, Laser Part. Beams 7, 733 (1989); K. Yatsui, X. D. Kang, T. Sonegawa, T. Matsuoka, K. Ma-sugata, Y. Shimotori, T. Satoh, S. Furuuchi, Y. Ohuchi, T. Takeshita, and H. Yamamoto, Phys. Plasmas 1, 1730 (1994).
14. Y. Shimotori, M. Yokoyama, H. Isobe, S. Harada, K. Masugata, and K. Yatsui, J. Appl. Phys. 63, 968 (1988); K. Yatsui, Laser Part. Beams 7, 733 (1989); K. Yatsui, X. D. Kang, T. Sonegawa, T. Matsuoka, K. Masugata, Y. Shimotori, T. Satoh, S. Furuuchi, Y. Ohuchi, T. Takeshita, and H. Yamamoto, Phys. Plasmas 1, 1730 (1994).
15. G. P. Johnston, P. Tiwari, D. J. Rej, H. A. Davis, W. J. Waganaar, R. E. Muenchausen, K. C. Walter, M. Nastasi, H. K. Schmidt, N. Kumar, B. Y. Lin, D. R. Tallant. R. L. Simpson, D. B. Williams, and X. M. Qiu, J. Appl. Phys. 76, 5949 (1994).
16. C. A. Meli, K. S. Grabowski, D. D. Hinshelwood, S. J. Stephanakis, D. J. Rej, and W. J. Waganaar, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1182 (1995).
17. A. N. Zakoutaev, G. E. Remnev, Yu. F. Ivanov, M. S. Arteyev, V. M. Matvienko, and A. N. Potyomkin, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 388, 388 (1995).
18. T. Sonegawa, C. Grigoriu, K. Masugata, K. Yatsui, Y. Shimotori, S. Furuuchi, and H. Yamamoto, Appl. Phys. Lett. 69, 2193 (1996).
19. J. C. Olson, M. O. Thompson, H. A. Davis, D. J. Rej, W. J. Waganaar, and D. R. Tallant, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 388, 171 (1995).
20. K. Yatsui, C. Grigoriu, H. Kubo, K. Masugata, and Y. Shimotori, Appl. Phys. Lett. 67, 1214 (1995).
21. C. Grigoriu, Y. Nakagawa, A. Chamdani, T. Sonegawa, K. Nishiura, K. Shanmuga, K. Masugata, and K. Yatsui, Proceedings of the Symposium on Physics, Diagnostics, Applications of Pulsed High Energy Density Plasma as an Extreme State, edited by S. Ishii (National Institute of Fusion Science, Nagoya, 1996), p. 25.
22. W. A. Noonan, S. C. Glidden, J. B. Greenly, and D. A. Hammer, Rev. Sci. Instrum. 66, 3448 (1995).
23. H. A. Davis, J. C. Olson, W. A. Reass, C. W. Barnes, R. R. Bartsch, D. M. Coates, J. W. Hunt, H. M. Schleinitz, R. H. Lovberg, and J. B. Greenly, Rev. Sci. Instrum. 68, 332 (1997).
24. E. L. Neau, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B (submitted).
25. H. C. Harjes, K. J. Penn, K. W. Reed, C. R. McClenahan, G. E. Laderach, R. W. Wavrik, J. Adcock, M. Butler, G. A. Mann, L. Martinez, F. A. Morgan, G. J. Weber, and E. L. Neau, Proceedings of the 8th IEEE International Pulsed Power Conference, edited by R. White and K. Prestwich (IEEE, Piscataway, NJ, 1992), p. 543.